1、技術要求

1.1供氣方式：

1.1.1實驗室所用氣體介質: 氮氣N₂ 、氫氣H₂、氦氣He 、氬氣Ar 、乙炔C₂H₂、壓縮空氣共6種氣體。

1.1.2氬氣、氦氣、乙炔、氫氣、氮氣、空氣使用鋼瓶不間斷供氣系統，將氣瓶間的高純氣體輸送至儀器室使用。

1.2設計要求

項目所用材料均采用優質知名品牌，氦氣應選用PFA材質的隔膜式調壓閥。有毒和易燃易爆氣體需要做安全處理,包含吹掃，尾氣處理和緊急聯動。要求按照實驗室提供的功能平面分布和用氣點配置要求進行項目設計、安裝和調試，做到所有系統配置符合相關規范和使用安全。實驗室氣體管路項目主要材質為316LBA等級的不銹鋼無縫鋼管，所有氣體管路的連接采用無縫焊接技術，不允許卡套、快裝、法蘭、快插。焊口做到不氧化，內外成型，嚴禁 出現內外焊接滲漏。所有管道必須在較潔凈的空間施工安裝，不允許雜質，灰塵等顆粒進入管內影響精密儀器使用。氣體管路項目包括氣體管路的設計、 材質、安裝和驗收等方面的內容。本項目“氣體管路”特指從氣源區（如鋼瓶間）總閥門到實驗室內各用氣點氣體閥門每層管道要單獨做控制、阻火，所涉 及的有氣體切換裝置（自動）、減壓裝置、管路、二次減壓裝置、監控及報警系統等。

1.3實驗室內部氣體管路項目的使用與設計壓力，具體內容如下：

離子色譜-----N₂: 0.2 Mpa～0.8Mpa

液質----N₂:  0.2 Mpa～0.8Mpa   

氣質---- Ar、He: 0.2 Mpa～0.8 Mpa

原子熒光---- Ar: 0.2 Mpa～0.8 Mpa

原子吸收---- Ar、C₂H₂:  0.2 Mpa～0.8 Mpa

氣相---- H₂、N₂、CA:  0.2 Mpa～0.8Mpa

*1.4產品說明：

a.鋼瓶接頭：G5/8"/W21.8L/接頭，跟進氣體進行配置不同的接口，要求耐壓：300bar,材質：316L

b. 高壓盤管：工作壓力300bar,進口氣螺紋1/4"NPT(F),配有鋼瓶扳手，材質：316L，配有鋼瓶扳手。

c. 高壓球閥：316L不銹鋼材質,   04-SBVU-SS,進出氣1/4"卡套,耐壓：不低于2500PSI.

d. 匯流排（乙炔特殊除外）:316SST材質，進口壓力241bar，出口切換壓力16bar，進出氣螺紋1/4〞NPT（F）,cv0.06流量為10m3/h，全壓程實現自動切換供氣功能，外漏<2X10-8 atm cc/sec He，應用溫度-40℃~73℃。2只進氣隔膜閥，2只排氣隔膜閥，2只減壓器，2只進氣壓力表，1只出口壓力表，配有安全泄壓閥，設定安全泄壓值：20bar。

e. 二級減壓閥：材質316SST，全合金膜片全金屬硬密封，泄漏等級2X10-8atm cc/sec He。進口壓力27bar，出口壓力調節范圍0-10bar可調，cv0.15,帶一個出口壓力表，進出氣螺紋1/4〞NPT（F）,流量為5m3/h316L。

f. 管道：管道采用316L不銹鋼光亮退火，母材符合BA級的高純管道,管道的內表面處理值要小于0.37u.管道的標準:1/4”-1/2”（英寸）壁厚 0.88mm ,3/4”-1-1/2”壁厚為1.65mm.管壁的厚度不得減小。

g. 三通彎頭：采用316L不銹鋼光亮退火，母材符合BA級的高純氣路配件, 三通彎頭等均為可自動焊接的產品配件, 大于1/2”外徑的管道禁止使用 彎管器具, 必須使用成品彎頭,彎度為90度的3R或5R標準。

h. 泄漏報警：實驗室的探測范圍應做到無死角.各層面各實驗室的各種氣體的偵測數據可做到單獨控制、單獨處理，統一管理的集成模式。

i. 阻火器：阻火器的材質為316L不銹鋼,承壓100psi，易燃氣體和助燃氣體的阻火器不得混淆使用。

j.數字顯示低壓報警系統

功能箱壁掛式；信號源來自壓力傳感器，欠壓狀態發出蜂鳴聲，伴有數字顯示，4-20mA輸出信號，工作直流24V

k. 排空系統

注意事項：儀表配件為各氣體的專用品不得代用或混淆使用，氧氣的材料禁止接觸到油脂和粉塵顆粒(氧氣遇到油脂會導致爆炸，時速20米以上的 氧氣遇到顆粒阻擋摩擦的熱量會導致爆炸)，所有產品為真空包裝，包裝在使用前不得打開或被破壞，避免空氣和顆粒等進入污染材料。

2. 氣源區氣瓶連接、切換器、安全裝置和其它配套裝置

2.1. 從高壓鋼瓶出來用一段Pigtail連接到匯流排上的各個控制閥,再配備全自動切換裝置，實現在用氣瓶和備用氣瓶之間的氣體切換和不間斷供 應。氣源處設置壓力傳感器以壓力做報警提示,特殊氣體匯流排配置高純氮吹掃和排空尾氣處理以防止殘留有毒有害氣體的溢出.排空裝置及進氣主管路 上配置回火防止器,鋼瓶間設置氣體泄漏報警器,當鋼瓶間有有害氣體泄漏后泄漏探測報警器會發出聲光報警，保證供氣安全。

2.2 實驗室氣體管路要求采用高質量光亮退火的無縫不銹鋼SS－316L（BA）材料。三通彎頭等采用成品配件, 連接方式均為自動焊接, 禁止卡套、 快裝等。

2.3 實驗室氣體管路系統必須配備安全壓力釋放和調節閥門，配備壓力表直觀反應氣體入口和出口壓力。所有釋壓和吹掃閥門要求通過管路連接到 排氣管道裝置系統。

2.4 盤管Pigtail由光亮退火的無縫不銹鋼SS－316L（BA）材料制成，有足夠的韌性。連接鋼瓶的一端需用自動焊接,防止更換鋼瓶時的擺動影響接 頭的嚴密性,導致泄漏。

2.5 安全減壓閥要有標示，標明壓力釋放級別。

2.6 所有管件閥門、調壓裝置、切換裝置等都由高質量的不銹鋼材料制成，并且都是標準配件。

2.7 壓力調節裝置要求是不銹鋼隔膜型，要求采用國際品牌的產品。每種氣體的減壓閥壓力表為各種氣體的專用儀表。

2.8 所有管路標明連接的氣體和氣體的流動指向。指示標示的顏色須用不同顏色來區分,特殊氣體的色彩應鮮艷醒目。

2.9 實驗室管路系統中的氣體管路、鋼瓶等需要提供合適的接地保護。實驗室集中供氣系統不銹鋼氣路管道

3.設計說明

3.1 實驗室使用6種氣體，氣體包含氮氣，氦氣，壓縮空氣，氬氣，氫氣及乙炔。

3.2主管道的直徑為1/4”通往每個實驗室儀器的每種氣的管道均采用1/4”到各使用點。所有氣體管路經過墻體到各實驗室時需加裝防護套管并用阻燃材料堵塞縫隙。

3.3進入每一層每個實驗室的支路氣路上裝有開關閥可以整體控制.實驗臺上使用的各種氣體在功能柱上配置減壓閥表經過調節壓力后再接到各個使用點,每個使用點均采用手動控制閥單獨控制。

3.4大型實驗臺因使用的氣體種類較多,每個功能柱上裝有減壓閥等,通風柜使用的空氣,氮氣體,由調壓閥減壓后接至各個通風柜氣體考慮。

3.5注意事項:管道中的閥門接口等采用VCR或自動焊接方式,泄漏報警應覆蓋到所有偵測范圍。大于12.7mm外徑的管道在拐彎時采用成品的焊接彎頭 焊接而成,不采用機械彎。實驗室集中供氣系統不銹鋼氣路管道

4.驗收標準

實驗室氣體管路施工方必須保證氣體管路系統的清潔，所有氣體管路的驗收根據標準程序進行。所有接口方式均以自動焊接方式，不允許法蘭和快裝等，管道切割時和切割后的潔凈度處理按照UPH管道施工的標準.管道的焊接組裝10000級以上的無塵室里,帶好潔凈手套，首先將管的一端接上99.999% 的高純氬氣做吹掃，另一端打開，用合適的出氣帽蓋上讓氣通過,然后將調試好的焊接機接上焊接。嚴禁焊接中斷或調動焊接氣體。為防止管道內壁產生 氧化膜，可在焊接氣始端安一個0.01μm～0.03μm過濾器過濾，焊接好的管路兩頭應用堵帽及時蓋上以防微粒進入。自動焊接需要資格證書或上崗證書, 每日的焊接前必須提交焊接樣品和焊接數據,焊接好的焊縫需要焊接人員簽字并列表,做到有資可查.氣體管路要做壓力強度和潔凈度檢驗，防止管路泄漏 與污染。具體驗收程序如下：

強度實驗：管內沖入高純氮氣使壓力達0.9Mpa，保持此壓力30min，壓力不降為合格。

氣密驗收：管內沖入高純氮氣使壓力達0.7Mpa，密閉不少于72小時，無壓降為合格。

穩定性測試：在正常工作壓力情況下，開啟所有使用設備，在流量穩定的情況工作壓力波動小于5%為合格。

實驗室集中供氣系統不銹鋼氣路管道