Semistat熱電式過程恒溫器

LAUDA - Semistat 熱電的溫度控制系統為等離子刻蝕工藝提供穩定的可重復性的溫度控制系統。系統動態地控制靜電卡盤(ESC)的溫度并可用在任何的刻蝕工藝中。熱電溫度控制系統設計的基礎是基于帕爾帖原理的溫度轉換。這些原件可以實現快速且準確的溫度控制，滿足了當今器件生產尺寸越來越小的要求。

.為嚴苛的工藝提供快速且準確的溫度控制

.低能耗，沒有壓縮機和制冷劑的系統

.工業領域占地小，如果放置到地板下方則沒有占地空間要求

.極低的導熱液體填充量

.可以遠程控制的通信模塊(RS-485通信協議)

  上海驪葆科學儀器有限公司是多家實驗室及工業儀器領域歐美著名廠家中國地區代理商，主要品牌有：德國LAUDA加熱制冷恒溫循環器，德國DIEHM玻璃反應釜，PUR膠黏劑反應裝置，瑞士PC-Laborsystem行星攪拌器，德國BOLA/SICCO聚四氟配件管件/干燥箱， 英國COWIE  PTFE攪拌、測溫容器等配件，HAMILTON哈美頓進樣針、微量注射器；另有各種類型進口高低溫水浴/油浴等多種歐美產品，為實驗儀器需求提供高質量和專業化的系統解決方案！