| 品牌 | 天準 | 型號 | VME |
| 分辨率 | 0.001（mm） | 測量行程 | 500×400×200（mm） |
| 放大倍率 | 326X | 操作方式 | 程序控制 |
◆ 三軸精密線性滑軌、精密傳動系統；
◆ 全鼠標、手柄操作，簡單易用；
◆ 可程控8區環形表面光源，LED輪廓光源；
◆ 自動對焦測高，可加裝接觸式測頭；
◆ Vispec全自動影像測量軟件（經濟版）；
◆ 提供多種行程規格配置，如222、322、332、432、442、542等。技術參數：
| 型號 | VME222 | VME322 | VME432 | VME542 | |
| 行程(mm) | 200×200×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 | |
| 外部尺寸(mm) | 1040×700×1620 | 1040×700×1620 | 1240×800×1620 | 1440×900×1620 | |
| 重量(kg) | 150 | 160 | 200 | 250 | |
| 承重(kg) | 25 | 25 | 25 | 25 | |
| 測量 | XY軸* | E2=(3.0+L/200)µm | E2=(3.5+L/200)µm | ||
| Z軸** | E1=(5.0+L/200)µm | ||||
| 速度 | XY軸 | 200mm/S | |||
| Z軸 | 100mm/S | ||||
| 光柵尺 | 1.0µm分辨率 | ||||
| CCD | SONY 1/2"CCD 黑白/彩色 | ||||
| 光源 | 輪廓光 | LED冷光源，256級亮度可調 | |||
| 表面光 | 1環8區LED冷光源，各段操控，256級亮度可調 | ||||
| 光學系統*** | 6.5:1可變倍，放大倍率29～163或58～326 | ||||
| 軟件 | Vispec測量軟件（經濟版） | ||||
| 運動控制 | 自主的CNC直流伺服系統 | ||||
| 保修期 | 1年 | ||||
| 工作環境 | 溫度20℃&plun;2℃，溫度變化<2℃/hr，濕度30～80% | ||||
| 振動<0.002g，低于15Hz | |||||
| 電源 | 220V/50Hz/10A | ||||
| * L表示測量長度，以毫米為單位。** Z軸的機械，聚焦的與工件表面有很大關系。***放大倍率為近似值，具體值與顯示器的尺寸以及顯示器的分辨率相關。 |
