| 品牌 | 天準 | 型號 | VMG |
| 分辨率 | 0.001(mm) | 測量行程 | 1520×1220×200(mm) |
| 放大倍率 | 236X | 操作方式 | 鼠標自動控制 |
| 型號 | VMG662 | VMG962 | VMG1292 | VMG15122 | |
| 行程(mm) | 620×620×200 | 920×620×200 | 1220×920×200 | 1520×1220×200 | |
| 外部尺寸(mm) | 1320×1040×1620 | 1620×1040×1620 | 2000×1400×1620 | 2300×1700×1620 | |
| 重量(kg) | 850 | 1100 | 1300 | 2000 | |
| 承重(kg) | 80 | 80 | 80 | 80 | |
| 測量 | XY軸* | E2=(3.0+L/200)µm | E2=(4.5+L/200)µm | ||
| Z軸** | E1=(5.0+L/200)µm | ||||
| 速度 | XY軸 | 300mm/S | |||
| Z軸 | 100mm/S | ||||
| 光柵尺 | Renishaw光柵尺,0.4µm分辨率 | ||||
| CCD | SONY 1/2"CCD黑白/彩色 | ||||
| 光源 | 輪廓光 | LED冷光源,256級亮度可調 | |||
| 表面光 | 6環8區LED冷光源,各段操控,256級亮度可調 | ||||
| 同軸光 | LED冷光源,256級亮度可調 | ||||
| 光學系統*** | Navitar 6.5:1可變倍,放大倍率29~163或58~326 | ||||
| 軟件 | Vispec測量軟件(高端版) | ||||
| 運動控制 | 自主的CNC直流伺服系統 | ||||
| 保修期 | 1年 | ||||
| 工作環境 | 溫度20℃&plun;2℃,溫度變化<2℃/hr,濕度30~80% | ||||
| 振動<0.002g,低于15Hz | |||||
| 電源 | 220V/50Hz/10A | ||||





