- 品牌/商標:-
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| ■ 硅片規格: 方片125x125mm、156x156mm 圓片3″、4″、5″、6″、8″ ■ 測試功能 厚度:單點及多點厚度 TTV:總厚度偏差 體電阻率:單點及多點體電阻率 ■ 測試指標 厚度范圍:150~1000μm 測量誤差:≤±1.0μm 重復性:≤±0.20μm TTV范圍:0.00μm~200.00μm 測量誤差:≤±0.50μm 重復性:≤±0.20μm 體電阻率范圍:0.1Ω.cm~30.0Ω.cm 測量誤差:≤±3% 重復性:≤1.5% ■ 設備尺寸/重量:470mm(L)x420mm(W)x600mm(H)/20Kg ■ 測試環境要求:溫度范圍15~27℃ ■ 濕度范圍:35%~85% ■ 電源要求:220VAC,50Hz ■ 控制器:高性能主機 | ||||








