一、 系統特點:
■ 非接觸測量,避免對被測樣品造成損傷。
■ 采用傳感器,測量數據的精準性。
■ 采用采集卡數據采集的準確及穩定性。
■ 采用主機配以強大的控制軟件對數據進行精準計算和分析。
二、 技術指標:
n 測量尺寸:
n 探頭X/Y軸定位分辨率:±2μm
n 探頭Z(垂直)軸定位分辨率:±0.2μm
n 被測基片厚度范圍:50μm~500μm
n 測量:0.5μm
n 測試分辨率:0.1μm
n 測試速度:1片/30S
三、 設備外形:
約:
四、 輸入源:
電源:AC 220V 50Hz 功率: <500W
真空:-100KPa








