儀器簡介：
Asylum’s MFP Nanoindenter 納米壓痕儀是一款為市場所認可的商業(yè)化納米級壓痕儀，是業(yè)內(nèi)款基于原子力顯微鏡的壓痕儀器。通過結(jié)合原子力顯微鏡的傳感器，為該款納米壓痕模塊提供了超過其他納米壓痕系統(tǒng)所無法企及的準度、以及敏感度。
納米壓痕儀通過與原子力顯微鏡的結(jié)合，利用原子力顯微鏡卓越的形貌觀察能力同時對壓頭和壓痕結(jié)果的測試，可以提供的定量壓痕接觸區(qū)域計算能力，提供業(yè)內(nèi)準確的確定接觸區(qū)域 ，獲得間接估算材料性質(zhì)所沒有的。特有的一維柔性鉸鏈的被動驅(qū)動方式從而使得漂移和深度測試中的其他錯誤得到小化。壓入過程中的熱漂移效應(yīng)全自動扣除，測量結(jié)果更加真實、可靠。
高性能的樣品加載系統(tǒng)和傳感技術(shù)使得nanoindeter納米壓痕儀成為了多樣化的納米力學(xué)表征工具，是科學(xué)家、工程師和其他各領(lǐng)域用戶的選擇。在摩擦、模量成像、動態(tài)力學(xué)分析、薄膜、陶瓷、復(fù)合物、聚合物、微機電系統(tǒng)、生物和金屬等領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。符合 ISO/IEC 17025.1以及ISO 14577-22國際標(biāo)準。
行業(yè)應(yīng)用：材料、生物、化學(xué)、物理相關(guān)的政府檢測機構(gòu)、科研院所、高校和大型企業(yè)研究機構(gòu) 。每年銷售量超過50臺。
測量數(shù)據(jù)
模量
硬度
蠕變
應(yīng)力-應(yīng)變曲線
塑性指數(shù)
塑性功/彈性功
彈性模量/損耗模量/力學(xué)損耗(tan)
納米磨損性能
納米劃痕臨界載荷
表面磨擦及形貌圖
粘結(jié)失效
斷裂韌性
沖擊性能
接觸疲勞強度
金屬,陶瓷,聚合物等材料的彈性性能.
金屬的位錯現(xiàn)象.
陶瓷的破裂現(xiàn)象.
薄膜，骨，生物材料的機械性能.
殘余應(yīng)力
軟金屬和聚合物的由時間決定的機械性能.
結(jié)合納米壓痕的IV曲線電學(xué)測試
結(jié)合納米壓痕的壓電力顯微鏡測試（詳見PFM應(yīng)用手冊）
力反饋 (應(yīng)力控制)以及壓痕深度(應(yīng)力控制)
力學(xué)實時分析
力學(xué) vs 位置
恒幅載荷
準靜態(tài)實驗法: 壓痕蠕變, 應(yīng)力松弛
動態(tài)測試
納米壓痕柔性鉸鏈
兩種柔性鉸鏈可選：Standard and Low
| 標(biāo)準型 | 微力型 | |
| 彈性常數(shù) (typ.) | 4,000N/m | 800N/m |
| 質(zhì)量 | 250mg | 200mg |
| 共振頻率 | 700Hz | 300Hz |
力學(xué)分辨
1kHz 帶寬下測試
| 標(biāo)準型 | 微力型 | |
| 載荷 | 20mN | 4mN |
| 力學(xué)噪音水平 | 75nN | 15nN |
| 位置噪音水平 | 0.3nm | 0.3nm |
掃描范圍
Z 范圍: 15μm 標(biāo)準, 40μm (可選).
荷載率 (Vlr ): 1μN/s <Vlr<10mN/s..
樣品尺寸
小樣品臺: 12.7mm SEM 兼容樣品臺
中樣品臺: 2.0英寸樣品臺.
大樣品臺: 4.0英寸x 2.4英寸
樣品臺
微分尺驅(qū)動的機械樣品臺（可選馬達驅(qū)動）
掃描軸
X-Y: 90μm 全行程閉環(huán). 閉環(huán)傳感器噪音<0.6nm (Adev)（ 0.1Hz-1kHz bandwidth (BW)）
非線性度全行程小于<0.5% (Adev/full travel)
Z: >15μm 閉環(huán)控制 (40μm 可選).
傳感器噪音<0.3nm Adev （0.1Hz-1kHz BW ）
非線性度全行程<0.2% (Adev/full travel)
Z高度噪音 <0.06nm Adev,（ 0.1Hz-1kHz BW）.
軟件
IGOR Pro by WaveMetrics出品的IGOR Pro數(shù)據(jù)處理軟件,可以有客戶自由編輯。
系統(tǒng)包括了以下的Asylum’s ARC2™ 全數(shù)字控制器，用戶可以根據(jù)自己要求選擇底座(上視光路或者多光路底座), 可以選擇標(biāo)準型或者微力型頭部, 兩個金剛石壓頭 (one cube corner and one Berkovich) 、一個球形壓頭以及練習(xí)用壓頭。一個彈性系數(shù)校準器以及適應(yīng)不同大小的樣品臺。
