創(chuàng)新設(shè)計完美全面的清洗解決方案。Evactron CombiClean 清洗系統(tǒng)為SEM/TEM/FIB/其他分析設(shè)備提供了桌面式清洗平臺，幫助客戶清洗樣品以及電鏡部件，去除其存在的碳污染問題。同時也提供了外置等離子發(fā)生器用于電鏡腔體清洗方案。系統(tǒng)操作簡單，檢測器可以智能控制多個等離子發(fā)生器單元，控制器自由切換可以通過不同發(fā)生器的工作模式。系統(tǒng)支持旋葉機(jī)械泵，從而防止油污染。提供干燥氮?dú)獗Ｗo(hù)環(huán)境，保證經(jīng)等離子清洗過后的樣品可以長期保存，此時不影響其他等離子發(fā)生器的使用。
應(yīng)用Evactron CombiClean 系統(tǒng)可以提供外置式等離子發(fā)生器，用于掃描電鏡、透射電鏡和雙束電鏡，同時也可以清洗透射樣品桿以及氣塞。結(jié)合使用Evactron TEM Wand 透射電鏡等離子清洗桿，可以清洗透射電鏡樣品、部件以及真空腔內(nèi)部。系統(tǒng)特性 系統(tǒng)通過內(nèi)部的處理器，由MicroPirani 軟件對于真空度以及功率進(jìn)行智能控制。處理器可以對等離子發(fā)生器進(jìn)行定時清洗控制以及氮?dú)獗Ｗo(hù)循環(huán)。系統(tǒng)保留操作日志。操作可以通過前置面板或者電腦完成。
特點(diǎn)介紹
等離子漂洗技術(shù)：安全清除碳?xì)浠衔镂廴就瑫r不破壞敏感的材料，可以使用在電子顯微鏡內(nèi)部部件（如X-ray探測窗口）
每星期十分鐘的清洗保證整套系統(tǒng)的清潔度
系統(tǒng)問世以來已有1100客戶在使用我們安全有效的系統(tǒng)
一體式設(shè)計：
結(jié)合了Evactron25控制器及真空室的清潔解決方案
結(jié)合了Evactron電子顯微鏡原位清潔和桌面式樣品以及零件的清洗
多功能便攜設(shè)計
多種氣體選擇：
使用成本低，可以使用空氣，也可以使用氫氣、氧氣、氬氣等常見氣體
也可用其他非腐蝕性氣體，包括對敏感樣品也可以進(jìn)行刻蝕
氮?dú)鈨艋?/strong>
防止油氣回流，也可以兼容旋葉泵
允許在清洗室儲存樣品，防止樣品被二次污染
內(nèi)部和外部等離子發(fā)生源：
使用內(nèi)部等離子發(fā)生源清洗電鏡部件，TEM樣品桿和樣品
可以使用外部等離子源清洗SEM, FIB和TEM或者其他分析設(shè)備的腔體內(nèi)碳?xì)湮廴疚?br />簡單使用開關(guān)就可以切換內(nèi)外等離子發(fā)生源
多種TEM樣品桿兼容口：
允許同時清理兩個透射電鏡樣品和樣品桿，避免二次污染或損壞樣品
兩個水平的TEM樣品桿清潔口 (清潔口型號可選)
上部頂加載方式：掃描電鏡樣品可以簡易安置在高度可調(diào)的內(nèi)部平臺上
Overall Dimensions: H, W, D – 8.25" x 25.7" x 10.6", (210 mm x 652 mm x 270 mm) • RF Power: 0-30 Watts at 13.56 MHz • Status LEDs: Power, RF On, Plasma ON, Faults, Local and Remote • Front Panel Display for operating conditions and status • Encoder Knob and Enable/Disable button for Front Panel Control Plasma Radical Source Selection Switch • Computer control with RS 232 I/O, DB9 Connector, Null Model Cable, 56k Baud GUI with Event Log • C Communication Library for software integration • Internal Plasma Radical Source (PRS) with RF Match • MKS MicroPirani Transducer for vacuum pressure measurement and vacuum interlock • Optional remote computer interlock • Electrically adjusted metering valve for flow/pressure adjustment • RF power interlock prevents starting when out of vacuum pressure range • Fault display and readout • Nitrogen purge feature • 100-240VAC 50/60 Hz input
