MGS2-EM是壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)開合的微鑷子,安裝在納米操縱臂前端,使得納米操縱臂可實(shí)現(xiàn)夾持的功能,可應(yīng)用于微納尺度的器件組裝。鑷子開口是15nm/步進(jìn),開口為25µm,夾持力200µN。
技術(shù)參數(shù):
Total length30 mm
Height5 mm
Tip length5 mm
Tip shaft width125 µm
Tip radius5 µm
Tip ShadeConcial
Lowest temp273K
Hightest temp353K
MaterialW,A1,Ni
Resolution15 nm
Force>200 µN
Span range>25 µm
Lowest Pressure10-7 mbar
主要特點(diǎn):
MGS2-EM與納米操縱臂、線性移動(dòng)平臺(tái)聯(lián)合可實(shí)現(xiàn)微器件的裝配、原位樣品提取、顯微操縱的功能。





