儀器簡介：
德國Kleindiek Nanotechnik超微操縱儀的驅動單元是由壓電陶瓷構成的納米馬達，因此它的特點是能夠進行納米級移動，在保證納米級移動的同時其的設計可以同時做到毫米級的移動范圍，整個操縱裝置全部由納米馬達驅動，從而保證了系統體積非常小，可以很容易地放入電子顯微鏡腔室內。
德國Kleindiek Nanotechnik生產的納米顯微操縱儀有以下型號以適用于不同的環境：
MM3A-LMPMicromanipulator for Light Microscopy
MM3A-EM Micromanipulator for Electron Microscopy
MM3A-UHV Micromanipulator for UHV
MM3A-LTMicromanipulator for low temperature
德國Kleindiek Nanotechnik生產的納米顯微操縱儀MM3A-EM以其高、超靈活、易操作、小體積成為電子顯微鏡用戶的得力助手，改變了電子顯微鏡只用于樣品觀察的傳統，直接在樣品室內操縱樣品，由此衍生了許多豐富多彩的應用，使得對樣品的研究更深一步。MM3A的移動范圍是三維空間的，X、Y軸可作±120°擺動，Z軸可作12mm的伸長，整個空間的移動范圍達到100立方厘米。系統驅動全部由壓電陶瓷來實現，由此保證了Z軸每個步進的可達0.5nm，當采用快速移動模式時，速度可達到2mm/s，可以說是同時兼具了高和高效率，的大行程設計，使得Z軸總行程可達到12mm，納米級的移動、厘米級的移動范圍是MM3A的特點。
MM3A-LS以其高穩定性、高、無漂移的鮮明特性，被廣泛應用于生命科學領域的高靈敏度膜電位測量領域。衍生產品MM3A-LMP與光學顯微鏡的結合，被廣泛應用于半導體的探針系統中，可適應45nm、65nm、90nm工藝的要求。
顯微操縱儀的極細微的漂移都會影響到細胞膜電位的測量，這就要求顯微操縱儀盡量能做到零漂移，德國Kleindiek Nanotechnik公司生產的MM3A很好地解決了漂移的問題，既使是長時間的測量也沒有漂移的現象。MM3A體積相對傳統的顯微操縱儀而言小了很多，長度約60mm重約45g，這種設計保證了系統的穩定性并降低了系統噪音水平，震動幾乎對MM3A不產生影響。采用磁性基座固定，MM3A可以方便地安裝在載物臺的任何地方。在操縱儀的前端有叉式的玻璃管夾持器，玻璃管的更換簡單易操作。
技術參數：
MM3A-EM
Length / Width / Height60/22/25 mm
Operating range XY / Z240°/12 mm
Scan range X / Y / Z20/15/1µm
Max Speed XY / Zup to 10/ 2 mm/s
Resolution X10-7 rad (5 nm)
Resolution Y10-7 rad (3.5 nm)
Resolution Z0.25 nm
Hysterisis deviation Z<200 nm
Hysterisis Angle (α) Z<10° (0.2 rad)
Lowest temp273K
Highest temp353K
Lowest pressure10-7 mbar
Holding force1 N
Holding torque3 Nmm - 4 Nmm
Lift Y5g
Signal resistance (probing)7.0Ω
Max voltage (probing)100V
Max current (probing)100 mA
主要特點：
德國Kleindiek Nanotechnik生產的納米顯微操縱儀的突出特點：
納米操縱度：安裝在MM3A操縱臂前端的鎢探針在X，Y方向小移動距離為5nm，在Z方向小移動距離為0.5nm。
快慢可調的操作速度：可以選擇一個步進0.5nm，也可以選擇移動速度1cm/S。MM3A將大范圍和超精細操作完美地結合在一起。
緊湊的結構設計：MM3A體積小，可以很寬松地在電鏡腔室內安裝1~8個系統。
三維大空間操作范圍：X、Y方向可以做240度的旋轉，Z軸方向做12mm的伸長，MM3A可操作的空間范圍達100cm3。
幾乎無漂移：我們曾經做過實驗MM3A鎢探針針尖在場發射電鏡放大100K條件下每隔一分鐘拍一張照片，持續一小時后通過對照片的分析得出，在排除電鏡電壓不穩定因素外，MM3A幾乎不產生漂移。
與電鏡的連接：MM3A安裝在加工好的平臺上，該平臺再固定在電鏡的樣品臺上，整個安放過程十分方便，幾分鐘就可完成，不使用時將平臺卸下取出既可。控制線通過電鏡腔室上的空法蘭穿出并密封，不會影響電鏡的真空。
德國Kleindiek Nanotechnik超微操縱儀的驅動單元是由壓電陶瓷構成的納米馬達，因此它的特點是能夠進行納米級移動，在保證納米級移動的同時其的設計可以同時做到毫米級的移動范圍，整個操縱裝置全部由納米馬達驅動，從而保證了系統體積非常小，可以很容易地放入電子顯微鏡腔室內。
德國Kleindiek Nanotechnik生產的納米顯微操縱儀有以下型號以適用于不同的環境：
MM3A-LMPMicromanipulator for Light Microscopy
MM3A-EM Micromanipulator for Electron Microscopy
MM3A-UHV Micromanipulator for UHV
MM3A-LTMicromanipulator for low temperature
德國Kleindiek Nanotechnik生產的納米顯微操縱儀MM3A-EM以其高、超靈活、易操作、小體積成為電子顯微鏡用戶的得力助手，改變了電子顯微鏡只用于樣品觀察的傳統，直接在樣品室內操縱樣品，由此衍生了許多豐富多彩的應用，使得對樣品的研究更深一步。MM3A的移動范圍是三維空間的，X、Y軸可作±120°擺動，Z軸可作12mm的伸長，整個空間的移動范圍達到100立方厘米。系統驅動全部由壓電陶瓷來實現，由此保證了Z軸每個步進的可達0.5nm，當采用快速移動模式時，速度可達到2mm/s，可以說是同時兼具了高和高效率，的大行程設計，使得Z軸總行程可達到12mm，納米級的移動、厘米級的移動范圍是MM3A的特點。
MM3A-LS以其高穩定性、高、無漂移的鮮明特性，被廣泛應用于生命科學領域的高靈敏度膜電位測量領域。衍生產品MM3A-LMP與光學顯微鏡的結合，被廣泛應用于半導體的探針系統中，可適應45nm、65nm、90nm工藝的要求。
顯微操縱儀的極細微的漂移都會影響到細胞膜電位的測量，這就要求顯微操縱儀盡量能做到零漂移，德國Kleindiek Nanotechnik公司生產的MM3A很好地解決了漂移的問題，既使是長時間的測量也沒有漂移的現象。MM3A體積相對傳統的顯微操縱儀而言小了很多，長度約60mm重約45g，這種設計保證了系統的穩定性并降低了系統噪音水平，震動幾乎對MM3A不產生影響。采用磁性基座固定，MM3A可以方便地安裝在載物臺的任何地方。在操縱儀的前端有叉式的玻璃管夾持器，玻璃管的更換簡單易操作。
技術參數：
MM3A-EM
Length / Width / Height60/22/25 mm
Operating range XY / Z240°/12 mm
Scan range X / Y / Z20/15/1µm
Max Speed XY / Zup to 10/ 2 mm/s
Resolution X10-7 rad (5 nm)
Resolution Y10-7 rad (3.5 nm)
Resolution Z0.25 nm
Hysterisis deviation Z<200 nm
Hysterisis Angle (α) Z<10° (0.2 rad)
Lowest temp273K
Highest temp353K
Lowest pressure10-7 mbar
Holding force1 N
Holding torque3 Nmm - 4 Nmm
Lift Y5g
Signal resistance (probing)7.0Ω
Max voltage (probing)100V
Max current (probing)100 mA
主要特點：
德國Kleindiek Nanotechnik生產的納米顯微操縱儀的突出特點：
納米操縱度：安裝在MM3A操縱臂前端的鎢探針在X，Y方向小移動距離為5nm，在Z方向小移動距離為0.5nm。
快慢可調的操作速度：可以選擇一個步進0.5nm，也可以選擇移動速度1cm/S。MM3A將大范圍和超精細操作完美地結合在一起。
緊湊的結構設計：MM3A體積小，可以很寬松地在電鏡腔室內安裝1~8個系統。
三維大空間操作范圍：X、Y方向可以做240度的旋轉，Z軸方向做12mm的伸長，MM3A可操作的空間范圍達100cm3。
幾乎無漂移：我們曾經做過實驗MM3A鎢探針針尖在場發射電鏡放大100K條件下每隔一分鐘拍一張照片，持續一小時后通過對照片的分析得出，在排除電鏡電壓不穩定因素外，MM3A幾乎不產生漂移。
與電鏡的連接：MM3A安裝在加工好的平臺上，該平臺再固定在電鏡的樣品臺上，整個安放過程十分方便，幾分鐘就可完成，不使用時將平臺卸下取出既可。控制線通過電鏡腔室上的空法蘭穿出并密封，不會影響電鏡的真空。
