ORION™顯微鏡的基礎是革命性的、原子尺寸的、ALIS氣體場離子源。由單個原子發出的，極其明亮的氦離子束克服了衍射和能量擴展的限制，正是衍射和能量的擴展影響了電子束在掃描電鏡中的應用。
這就意味著ORION顯微鏡擁有一個非常小的束斑用于高分辨率成像。此外，在一個大大縮小了的相互作用區里，獨特的氦離子束和樣品的動力學結果貢獻了更高的分辨率和內涵豐富的襯度機制
ORION™顯微鏡也可以使用背散射氦離子成像，具有很強元素襯度的這種技術，提供了在樣品表面區分不同材料的能力
ORION™顯微鏡靈活性高、功能多樣，能夠提供廣泛的分析信息，其中包括：形貌、材料、電壓襯度、晶體學、表面和次表面信息，這種技術的另一個好處是在絕緣樣品上的卓越性能。
一流的材料襯度
超高分辨率
廣泛的分析信息
簡單的樣品制備
離子源工作穩定、長壽命
ORIONTM基本規格
分辨率 0.75 nm @ 45 kV @工作距離4 mm
1.0 nm @ 30 kV @工作距離4 mm
2.5 nm @ 10 kV @工作距離4 mm
放大倍數 100x - 1,000,000x
視野 1 mm - 100 nm
離子束 1 pA時<1 nm
離子束電流1 fA - 25 pA
離子源 氦氣體場離子源
壽命 > 1000 小時
離子源電動對中
樣品室 體積 400 mm3
基本真空度 2x10-7 Torr
接口板可定制
載物鎖
圖像探測器 Everhart-Thornley二次電子探測器
微通道板（選配）
透射電子探測器（選配）
樣品臺 5軸電動樣品臺，X、Y軸行程50 mm，Z軸行程12 mm，360º 旋轉，0º到45º傾斜
真空系 統 無油無微粒低真空泵設計
磁懸浮渦輪分子泵
攝像機 三臺監控攝像機——離子源觀察、樣品臺觀察、樣品室觀察
用戶界面 兩臺20英寸平板顯示器
圖像2048 x 2048像素
系統主要參數存檔功能
技術參數：
| 分辨率 | 0.75 nm @ 45 kV @工作距離4 mm 1.0 nm @ 30 kV @工作距離4 mm 2.5 nm @ 10 kV @工作距離4 mm |
| 放大倍數 | 100x - 1,000,000x |
| 視野 | 1 mm - 100 nm |
| 離子束 | 1 pA時<1 nm 離子束電流1 fA - 25 pA |
| 離子源 | 氦氣體場離子源 壽命 > 1000 小時 離子源電動對中 |
| 樣品室 | 體積 400 mm3 基本真空度 2x10-7 Torr 接口板可定制 載物鎖 |
| 圖像探測器 | Everhart-Thornley二次電子探測器 微通道板（選配） 透射電子探測器（選配） |
| 樣品臺 | 5軸電動樣品臺，X、Y軸行程50 mm，Z軸行程12 mm，360º 旋轉，0º到45º傾斜 |
| 真空系 統 | 無油無微粒低真空泵設計 磁懸浮渦輪分子泵 |
| 攝像機 | 三臺監控攝像機——離子源觀察、樣品臺觀察、樣品室觀察 |
| 用戶界面 | 兩臺20英寸平板顯示器 圖像2048 x 2048像素 系統主要參數存檔功能 |
主要特點：
一流的材料襯度
超高分辨率
廣泛的分析信息
簡單的樣品制備
離子源工作穩定、長壽命
