CSPM5000掃描探針顯微鏡是本原歷經19年技術積淀而推出的新一代產品，在控制系統性能、探頭結構和性能、軟件功能等方面均有大幅技術提升。CSPM5000同時也是本原公司所承擔的國家高技術研究發展計劃（863計劃）項目——“掃描探針顯微集成系統的研制”項目的成果轉化產品，集成了本公司在該項目攻關過程中所取得的多項技術創新，為高端研究型儀器。
CSPM5000采用單一的掃描隧道/原子力探頭，集成 了掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡、摩擦力顯微鏡、磁力和靜電力顯微鏡、導電原子力顯微鏡、液相掃描探針顯微鏡、環境控制掃描探針顯微鏡，工作模式包括接觸、輕敲、相移成像、抬起和納米加工等。
CSPM5000采用32位數字信號處理器、10M/100M快速以太網接口和高速雙16位AD/DA采集轉換，系統功能、穩定性、控制采集和速度及可擴展性均為國內同類儀器的水平。
技術參數：
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● 集成原子力顯微鏡(AFM),橫向力顯微鏡(LFM),掃描隧道顯微鏡(STM),導電原子力顯微鏡(C-AFM), 磁力顯微鏡(MFM)和靜電力顯微鏡(EFM)
● 原子力顯微鏡具有接觸、輕敲、相移成像、抬起等多種工作模式
● 具備液相掃描探針顯微鏡和環境控制掃描探針顯微鏡功能
● 具有高實時環境溫度、濕度檢測功能
● 具有I-V曲線、I-Z曲線、力-距離曲線和振幅-距離曲線等測量分析功能
● 具有圖形化刻蝕、壓痕/機械刻畫、矢量掃描、DPN浸潤筆等模式的納米加工技術
● 快速全自動進樣，無需手工粗調
● 只需要更換探針架，即可在STM和AFM等不同類型儀器中切換
● 全數字控制,系統狀態、儀器類型、掃描器和探針架參數智能識別和控制
● 探頭內置亮度連續可調的照明光源
● 主控制系統采用德州儀器(TI)32位高性能數字信號處理器(DSP)
● 主控制系統采用10M/100M快速以太網(Fast Ethernet 10/100)與計算機連接
● 樣品尺寸增大至直徑45mm、厚度30mm
● 基于Windows Vista/XP/2000/9X的在線控制軟件和后處理分析軟件
● 具備雙向掃描(Trace-Retrace)、往返掃描功能
● 具備實時在線三維圖像顯示功能
● 具備自動更新掃描圖像亮度、對比度功能
● 掃描圖像和當前全部工作環境參數同步保存
● 具有數據導出功能，用戶可取得原始數據
● 具有國家、國際相關標準全系列參數的樣品粒度和粗糙度自動分析功能
● 可連續采集、存儲和重現動態過程（納米電影）
● 針尖表征及圖像重建功能(針尖形貌估計/圖像重建/用已知針尖重建圖像)
● 按功能模塊劃分的總線插卡式結構，便于日后系統維護和升級
● 可附加光學顯微輔助系統和第二顯示器
技術指標
• 系統功能
原子力顯微鏡(AFM)，包括接觸、輕敲、相移成像(Phase Imaging)、抬起(Lift Mode)等多種工作模式
橫向力顯微鏡（LFM），導電原子力顯微鏡（C-AFM）,磁力顯微鏡(MFM)，靜電力顯微鏡(EFM)
掃描隧道顯微鏡（STM），包括恒流模式、恒高模式、I-V曲線、I-Z曲線等
液相掃描探針顯微鏡成像，環境控制掃描探針顯微鏡成像
納米加工和操縱，包括圖形化刻蝕、壓痕/機械刻畫、矢量掃描、DPN浸潤筆等模式
• 分辨率
原子力顯微鏡(AFM)：橫向 0.26nm, 垂直 0.1nm（以云母晶體標定）
掃描隧道顯微鏡(STM)：橫向 0.13nm, 垂直 0.01nm（以石墨晶體標定）
• 參數性能
電流檢測靈敏度：≤10pA
力檢測靈敏度：≤5pN
圖像分辨率：128X128,256X256,512X512,1024X1024,2048X2048
掃描角度：0～360°
掃描頻率：0.1～100Hz
預置隧道電流：0.001～10nA
偏置電壓：-10～+10V
溫度檢測：0.1℃，濕度檢測：0.5％RH
• 電子控制系統
中央處理器：德州儀器（TI）32位數字信號處理器(DSP)，時鐘主頻600MHz，運算速度4800MIPS
20通道高速DAC
20通道高速ADC
通信接口：10M/100M快速以太網（Fast Ethernet 10/100）接口
• 機械性能
樣品尺寸：可達直徑45mm，厚度30mm
全自動步進電機控制進樣系統：行程30mm，定位50nm/步
• 軟件系統
基于Windows Vista/XP/2000/9X的在線控制軟件和后處理軟件
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主要特點：
1.功能齊全
CSPM5000掃描探針顯微鏡功能齊全,涵蓋掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡、導電原子力顯微鏡、橫向力/摩擦力顯微鏡、磁力/靜電力顯微鏡、環境檢測及控制掃描探針顯微鏡(氣氛、溫濕度、樣品加熱等)、納米加工......
2.超高性能DSP
CSPM5000掃描探針顯微鏡控制系統內置了德州儀器(TI)公司的TMS320DM642數字信號處理器(DSP)，其運算速度達到了每秒4800兆次運算(4800MIPS)。 性能超卓的DSP賦予了儀器一顆奔馳的心，使儀器能夠從容應對各種復雜的信號處理任務。
3.多種納米加工功能
CSPM5000掃描探針顯微鏡可進行多種納米加工，包括圖形化納米刻蝕、壓痕/機械刻畫、矢量掃描、DPN浸潤筆等。
4.溫度、濕度實時檢測
CSPM5000掃描探針顯微鏡內置環境溫度、濕度實時檢測。用戶可隨時對當前的檢測環境進行監控。
5.內置實時操作系統
CSPM5000掃描探針顯微鏡內置了一個實時操作系統spm/DNA（spm/DNA為本原的商標）。spm/DNA使儀器能夠同時從容駕馭多個復雜的任務，保證系統的穩定性、實時性和靈活性。spm/DNA獨具匠心的設計，還為用戶帶來更多的安全感。例如，spm/DNA獨有的探針保護功能，在用戶的控制計算機發生故障時（甚至是死機，或用戶故意拔掉計算機電源時），仍能保障探頭中的探針不被損壞。
6.采用以太網接口
CSPM5000掃描探針顯微鏡與計算機的接口采用以太網接口(Ethernet)，計算機與儀器的連接十分簡便，就像把您的計算機連接到局域網、集線器、寬帶網一樣簡單。
采用以太網接口，還帶來諸多好處：
1、可實現更靈活的拓撲連接,將儀器連接到局域網上，一個儀器可以同時與多部計算機連接,極大方便系統擴展及二次開發；
2、更規范的軟件通信協議,更好的開放性,通信采用國際標準的TCP/IP協議,軟件編程接口規范統一,方便二次開發,提高軟件的可維護性；
3、連接距離不受限制，直連網線可以長達100米，如果連接到局域網或廣域網上則距離可以不受限制；
4、速度更快,滿足大流量數據傳輸的需求,保證系統穩定性；
5、排除計算機對儀器可能造成的電氣干擾；
6、兼容性高，用戶可以采用臺式機或筆記本作為控制主機。
7.具有兩級可讀數樣品調節機構
CSPM5000掃描探針顯微鏡具備兩級可讀數樣品調節機構，可對樣品進行的檢測區域定位。
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