OPEN SYS系列全開放的顯微測(cè)試加工平臺(tái)
多功能開放式掃描探針顯微鏡系統(tǒng)(簡(jiǎn)稱“開放系統(tǒng)”)是本原在十五年的技術(shù)積累和經(jīng)驗(yàn)提煉的基礎(chǔ)上所推出的換代產(chǎn)品。
開放系統(tǒng)使科學(xué)工作者能夠?qū)x器進(jìn)行必要的監(jiān)控或改造,以滿足自身科學(xué)研究的特殊需要。用戶既可以把它當(dāng)作一臺(tái)檢測(cè)儀器,又可以把它當(dāng)作進(jìn)行非常規(guī)試驗(yàn)和二次開發(fā)的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。
技術(shù)參數(shù):
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■單一探頭的多功能平臺(tái)結(jié)構(gòu),集成掃描隧道、原子力、摩擦力和靜電力 顯微鏡功能,工作模式包括接觸、輕敲、相移成像等
■獨(dú)特的探針類型和掃描器的編碼——解碼智能識(shí)別技術(shù),全數(shù)字控制的 參數(shù)設(shè)置和采集
■數(shù)字控制反饋回路,16-bit分辨的A/D和D/A
■采用單一的外觸發(fā)時(shí)基和高速緩存,實(shí)現(xiàn)多通道信號(hào)的高速同步采集
■采用基于TCP/IP協(xié)議的高速通信接口,實(shí)現(xiàn)雙處理器——雙操作系統(tǒng)的 協(xié)同工作和大容量高速數(shù)據(jù)交換,使系統(tǒng)具有極大的開放性
■系統(tǒng)內(nèi)部預(yù)留多個(gè)可供輸入/輸出信號(hào)的處理通道,具有方便的擴(kuò)展能力
■系統(tǒng)外部預(yù)留標(biāo)準(zhǔn)開放接口,滿足用戶對(duì)儀器進(jìn)行二次開發(fā)的需求
■具有I-V曲線和力曲線等測(cè)量分析功能
■具有圖形刻蝕模式和矢量掃描模式的納米加工技術(shù)
■具備超媒體用戶界面的納米操縱工具
■用戶控制端軟件兼容Windows 9X/ME/NT/2000/XP操作系統(tǒng)
■分析處理軟件在數(shù)據(jù)類型識(shí)別方面采用固定編碼和動(dòng)態(tài)編碼兩種技術(shù), 實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的開放性和可擴(kuò)展性
■掃描區(qū)域多種分辨率選擇及高度、對(duì)比度的實(shí)時(shí)調(diào)整,可連續(xù)采集、存儲(chǔ)和重現(xiàn)動(dòng)態(tài)過程
■實(shí)時(shí)定點(diǎn)測(cè)試功能
■方便的鼠標(biāo)控制掃描區(qū)域平移、剪切功能,掃描角度連續(xù)可調(diào),多種樣 品傾斜度實(shí)時(shí)校正功能
■樣品粒度和粗糙自動(dòng)分析功能
性能指標(biāo)
■分辨率:
STM:橫向 0.13nm 垂直 0.01nm(以石墨定標(biāo))
AFM:橫向 0.26nm 垂直 0.1nm (以云母定標(biāo))
■電流檢測(cè)靈敏度:≤10pA
■力檢測(cè)靈敏度: ≤1nN
■空間定位: ≤0.5nm
■預(yù)留輸出信號(hào)通道數(shù):6ch (1ch±200V,5ch±10V,16-bit DAC)
■預(yù)留輸入信號(hào)通道數(shù):16ch (100kHz采樣率,16-bit ADC, 帶可控低通濾波器和可控增益放大器)
■預(yù)留頻率合成輸出: 2ch (振幅為0~2V;頻率為DC~1000kHz,32-bit分辨)
主要特點(diǎn):
與國(guó)外或本原以往研制的產(chǎn)品相比,開放系統(tǒng)顯著的特點(diǎn)就是其多功能性和開放性。



