一、儀器簡介：

這是一款適合教學與科研兼顧的SPM儀器，該機集成了掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡的接觸、側向力工作模式；可以實現薄膜、塊狀等多種材質樣品的納米尺度形貌表征和分析。
如需要檢測粉體、溶液、纖維、生物樣品等柔軟、易黏附的樣品，請選購配置了AFM輕敲模式的ZL AFM-III型掃描探針顯微鏡。原理細節可以參考“了解模塊”中的相關內容。

二、技術參數

1.掃描系統：
1.1 掃描模式：STM恒流/恒高模式，I-Z/I-V曲線；AFM接觸/橫向力模式，力曲線測量
1.2 掃描范圍：50μm*50μm 單一多量程自適應掃描器不更換技術，50μm掃描器可達HOPG原子分辨率
1.3 分辨率：
STM：X-Y向0.1nm；Z向0.01nm；HOPG原子定標
接觸模式AFM：X-Y向0.2nm；Z向0.03nm；云母晶格定標
單一多量程自適應掃描器不更換技術，50μm掃描器可達HOPG原子分辨率
1.4 樣品臺尺寸：直徑≤Φ65mm，厚度≤30mm，重量≤15g
1.5 探針識別：自動識別當前針尖類型，軟硬件自動切換到相應的工作模式，無需人工干預。
1.6 探針保護：獨特設計的針尖保護技術，包括自動進針保護和平滑移動保護，能有效降低樣品對針尖的損傷，使儀器長時間保持高分辨圖像。
1.7 探針趨近：高高速伺服電機，控制針尖自動逼近樣品，行程<30mm，步長<23nm
1.8 樣品移動：手動精密機械二維移動平臺（移動范圍5mm×5mm，3μm）。 可選配計算機控制高電控樣品移動平臺。
1.9納米加工：矢量刻蝕功能 、圖形刻蝕功能

2.控制系統：
2.1 控制/采集：采用雙16位掃描/采樣差分同步獨立高壓放大技術，16通道雙16位A/D （相當于23位）；12通道16位D/A；4通道雙16位D/A（相當于23位）
2.2 反饋方式：8通道 數字化反饋+數控模擬反饋
2.3 中樞控制器：32位ARM技術，16 M RAM ，2M Flash ROM
2.4 高壓單元：±300V 紋波噪聲1.5mV；4通道雙16位D/A（相當于23位）提供掃描器XYZ 三個方向的控制電壓；可擴展到8通道
2.5 計算機接口：EPP模式并行口 / USB2.0接口 可選
2.6 掃描頻率：0.1～300Hz
2.7 掃描角度：-180~180連續可調
2.8 圖像采樣點：128×128/ 256×256 / 512×512 / 1024×1024 / 2048×2048可調
2.9 電流檢測靈敏度≤10pA
2.10 力檢測靈敏度≤5pN
2.11預置隧道電流：1pA～50nA
2.12 偏置電壓：-10～+10V
　
3.軟件系統：
3.1 操作系統：Windows 98/2000/XP
3.2 在線控制軟件：四窗口圖像界面，可觀察4個不同數據通道同步成像;系統智能記憶功能 : 一個參數改變，相關參數會根據系統經驗自動調節到范圍；壓電陶瓷非線性校正，曲面擬合校正，樣品傾斜校正等。
3.3 圖像處理軟件：3D顯示，濾波處理，圖像修飾，邊緣增強、形態學處理、圖像格式轉換，圖像 幾何變換、調色板設置等。
3.4 數據分析軟件：粗糙度分析，顆粒度分析，剖面分析，膜厚分析、臺階分析、各種曲線統計/分析等。
3.5 軟件開發模板：便于用戶進行二次開發，完成特殊的數據處理功能。
3.6 軟件服務包：軟件以插件方式終身享受升級服務。
　
4.工作條件：
4.1 環境溫度：0-35攝氏度
4.2 相對濕度：0-65%
4.3 工作電壓：220V（±10%），50Hz
　
5.可選配的功能模塊技術參數--樣品定位輔助模塊
5.1 高分辨CCD光學顯微系統：在計算機上成像，用于觀察探針和樣品，放大倍數80—600倍，視場 1.6mm，工作距離10cm，配套控制及成像軟件。一體式設計，工作過程中不必移開，可全程隨時觀測。
5.2 高電控樣品移動平臺：計算機自動控制，配合光學顯微系統進行樣品移動和定位。全程可視
5.2.1 移動范圍5mm*5mm，單步小步長50nm
5.2.2 高電控移動平臺和單一大量程自適應掃描器技術結合，實現從量程到小幾納米掃描范圍內，全程計算機控制樣品定位，無盲點
5.2.3 直接用鼠標拖動待測區到目的地，計算機控制移動平臺自動移動
5.2.4 可任意設置原點位置，一鍵返回（計算機控制移動平臺自動回到設置的原點位置）
5.2.5 可任意標記多個測樣點，編制定位路徑，計算機控制移動平臺自動到達各設定的測樣點
5.2.6 可直接輸入X、Y方向移動數值，計算機控制移動平臺自動定位國內配置，其它廠商只提供手動調節的精密螺桿移動平臺，無法實現樣品精密定位搜尋。
5.3 單一 大量程自適應掃描器：50μm掃描器可達HOPG原子分辨率 ，測樣過程中不用更換掃描器可實現從50微米—幾納米掃描范圍連續定位高成像（獨有關鍵技術）

三、主要特點：

1.具有國內SPM儀器中的綜合分辨率；50um*50um量程掃描器分辨率：STM X-Y方向0.1nm，Z方向0.01nm；AFM（接觸模式） X-Y方向0.2nm，Z方向0.03nm；AFM（輕敲）X-Y方向0.2nm，Z方向0.1nm；卓倫公司技術：自適應多形變量程模式壓電陶瓷掃描器。

2.具有國內SPM儀器中智能化的高電控樣品移動平臺，具有以下功能：
2.1 移動范圍5mm*5mm，單步小步長50nm
2.2 直接用鼠標拖動待測區到目的地，計算機控制移動平臺自動移動
2.3 可任意設置原點位置，一鍵返回（計算機控制移動平臺自動回到設置的原點位置）
2.4 可任意標記多個測樣點，編制定位路徑，計算機控制移動平臺自動到達各設定的測樣點
2.5 可直接輸入X、Y方向移動數值，計算機控制移動平臺自動定位

3.儀器采用智能針尖自識別技術：當需要在STM/AFM/LFM等工作模式之間相互轉換時，只需要替換相應的針尖架，儀器會自動識別當前針尖類型，然后軟、硬件會自動切換到相應的工作模式，無需人工干預；卓倫公司技術：掃描探針顯微鏡的智能針尖連接結構。

4.儀器配置軟件服務包：軟件部分終身享受升級服務。軟件是儀器的大腦，卓倫公司擁有一支年輕的研發隊伍，他們曾是國內套基于Windows的擁有自主知識產權的SPM軟件系統的開發者。長期的經驗積累和不羈的創新思維，造就了全新的MicroNano NewSPM軟件系統。