上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司
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推薦配置：
蒸發(fā)腔體：
泵裝置：低溫泵/TMP+ 葉片泵/干泵；
真空度通常10-8Torr
電子束蒸發(fā)源：6-15KW
Load lock預(yù)真空進(jìn)樣室：
泵裝置：TMP+葉片泵/干泵，
真空度<10-7 Torr
襯底支架：可加載4英寸襯底
襯底3D轉(zhuǎn)動
襯底傾斜：角度范圍請咨詢, 和重復(fù)性0.1°（可升級）；
襯底旋轉(zhuǎn)：20rpm.
氣體接口：氧氣及其他氣體來實現(xiàn)清潔和氧化過程
襯底清洗：配備離子
石英晶振膜厚控制儀；
頻率分辨率：10-4Hz或更優(yōu)
速率控制分辨率: 0.01 ?/s；
厚度分辨率: 0.01?
全自動軟件包，支持半自動和手動模式，支持遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)操作和維護(hù)。
