- 產(chǎn)品品牌：
- JEOL日本電子
- 產(chǎn)品型號：
- IB-09010CP
- 類型：
- 電子顯微鏡
凝聚了日本電子公司科技人員多年的夢想與實(shí)踐
截面拋光儀 IB-09010CP
- 不管是用機(jī)械研磨法難以制備的樣品，還是軟硬材質(zhì)混合的復(fù)合材料，都能夠制備出光滑的截面。
- 可以獲得平滑的鏡面拋光效果。與機(jī)械研磨法相比，使用截面拋光儀（CP）制備的樣品變形小、晶體結(jié)構(gòu)不易破壞，因而適合于晶體取向分析（EBSD）的前處理。
- 能夠制備出寬度大約為1mm的大截面。
非常適合于鍍層及電子元件的失效分析。 - 采用觸控式面板，操作簡單。
截面拋光儀IB-09010CP的特點(diǎn)
- 彩色液晶觸控式面板操作:彩色液晶屏顯示加工條件，一目了然。通過觸摸屏即可設(shè)定加工條件。
- 標(biāo)準(zhǔn)配置的CCD相機(jī)，用于確定加工位置:屏幕畫面便于觀察，容易對準(zhǔn)加工位置。
- 離子加速電壓 為８ｋV （選配）:提高了研磨速度。標(biāo)準(zhǔn)的加速電壓為６ｋV。
SEM應(yīng)用圖例
紙張截面
| 使用剃刀片等制作紙張截面時，紙纖維的損傷無法避免。從圖中可以看出，使用CP制備的截面損傷較小。 | |
| CP制備的截面（背散射電子圖像） |
C Kα (EDS) |
| Si Kα (EDS) |
Ca Kα (EDS) |
金線焊接
制備金等軟質(zhì)材料的截面樣品時不會對其造成損傷，另外它還適合于對焊接結(jié)合部的焊點(diǎn)進(jìn)行評估。采用傳統(tǒng)機(jī)械研磨法制備樣品會損壞焊點(diǎn)，研磨的磨料嵌入金內(nèi)部甚至?xí)鸾缑鎸觿冸x，形成研磨損傷，而采用截面拋光儀（CP）制備截面樣品則能避免這類損傷。
| 背散射電子圖像 |
背散射電子圖像 |
主要技術(shù)規(guī)格
| 離子加速電壓 | 2～6kV |
|---|---|
| 離子束直徑 | 500μm(FWHM) |
| 研磨速度 | 100μm/H (2小時的平均值，加速電壓:6kV，硅換算， 邊緣距離:100μm) |
| 搭載樣品尺寸 | 11mm（寬）×10mm（長）×2mm（厚） |
| 樣品移動范圍 | X軸 ±10mm Y軸 ±10mm |
| 樣品旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)范圍 | ±5º |
| 樣品加工擺角 | ±30º(申請中) |
| 操作方法 | 觸控式面板 |
| 使用氣體 | 氬氣(由質(zhì)量流量控制器控制流量) |
| 壓力測試 | 潘寧真空計 |
| 主抽真空裝置 | 渦輪分子泵 |
| 輔抽真空裝置 | 機(jī)械泵 |
| 尺寸/重量 | 主機(jī) 545 mm(寬)×550 mm(長)×420 mm(高) 64kg |
| 機(jī)械泵 | 150 mm(寬)×427 mm(長)×230.5 mm(高) 16kg |
| 選配件 | 加速電壓8 kV 單元 旋轉(zhuǎn)樣品臺 高定位CCD相機(jī) |
安裝條件
| 電源 | 單相100～120V±10%、50/60Hz、0.5～0.6kVA |
|---|---|
| 地線 | 獨(dú)立地線(100Ω以下) |
| 氬氣 | 使用圧力:
0.15±0.05MPa(1.0～2.0kg/cm²) 純度高于99.9999%(氬氣、氣瓶及調(diào)壓器由客戶自行準(zhǔn)備。) 膠管接頭: JIS B0203 Rc 1/4 |
| 室溫 | 20～25℃(變動: 1℃/h以內(nèi)) |
| 濕度 | 小于60% |
