ALIO 是超高性能六自由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的世界供應(yīng)商，與傳統(tǒng)的多軸串聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)相比，多軸并聯(lián)平臺(tái)具有更多明顯的優(yōu)點(diǎn)，比如更低的運(yùn)動(dòng)慣量、更高的動(dòng)態(tài)性能、更小的體積和更高的結(jié)構(gòu)剛性。ALIO 開(kāi)創(chuàng)性的三自由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)TRIPOD 和六自由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)HEXAPOD 更是憑借優(yōu)異的性能成為六自由度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的行業(yè)標(biāo)桿（美國(guó)： 和）。多自由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)正因其靈活的自由度和亞微米（甚至納米）級(jí)別的，成為各種不同復(fù)雜定位應(yīng)用的客戶，比如光電加工領(lǐng)域的微操作系統(tǒng)和微裝配系統(tǒng)，精密加工領(lǐng)域的工件承載，醫(yī)療領(lǐng)域的檢測(cè)系統(tǒng)，也可用于天文望遠(yuǎn)鏡的光學(xué)系統(tǒng)，衛(wèi)星天線發(fā)射/接受系統(tǒng)（如下圖即為ALIO 為美國(guó)空軍設(shè)計(jì)的衛(wèi)星定位系統(tǒng)）。ALIO 的多軸并聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)基于兩種不同的動(dòng)力進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，采用壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的多軸平臺(tái)能夠勝任在各種真空、強(qiáng)磁、失重等環(huán)境，且壓電馬達(dá)自身的斷電自鎖能夠保證設(shè)備在非工作狀態(tài)時(shí)依然能夠保持較為穩(wěn)定的位置形態(tài)。采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的多軸平臺(tái)則具備更為優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)特性，高速、高、適合工況條件長(zhǎng)時(shí)間大負(fù)荷操作。全樹(shù)脂封閉的直線電機(jī)線圈甚至能夠?qū)崿F(xiàn)在水下環(huán)境的工作。全系列多軸并聯(lián)平臺(tái)皆配備了納米級(jí)別的光柵反饋系統(tǒng)及運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，能夠適應(yīng)工業(yè)化簡(jiǎn)單、快捷、穩(wěn)定的上手操作要求。在六自由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)中，用戶只需要簡(jiǎn)單的輸入笛卡爾坐標(biāo)軸的各自的位置數(shù)據(jù)，運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)就能夠根據(jù)該目標(biāo)位置進(jìn)行復(fù)雜的算法計(jì)算，進(jìn)而控制每一軸的高位移，使得用戶指定的目標(biāo)位置能夠性平滑到位。應(yīng)用領(lǐng)域光電封裝和對(duì)準(zhǔn)微機(jī)械和微加工醫(yī)療技術(shù)半導(dǎo)體工藝數(shù)據(jù)存儲(chǔ)設(shè)備測(cè)試激光技術(shù)和光電技術(shù)細(xì)胞微操作生物科技微裝配航空衛(wèi)星定位系統(tǒng)6D ALIO HYBRID HEXAPOD 規(guī)格參數(shù)（如需其他型號(hào)資料請(qǐng)來(lái)電或郵件索取）XY 軸行程1 ±50mm 至±150mmZ 軸行程2 ±3mm 至±53mmθX,θY 行程3 ±3°至±17.5°θZ 行程360°驅(qū)動(dòng)器行程 4 6mm 至106mm驅(qū)動(dòng)器分辨率5nm,標(biāo)準(zhǔn)X 軸小步長(zhǎng)20nm 至50nmY 軸小步長(zhǎng)20nm 至50nmZ 軸小步長(zhǎng)20nm 至50nmX 軸重復(fù)定位<<100nmY 軸重復(fù)定位<<100nmZ 軸重復(fù)定位<<100nmθX,θY,θZ 小步長(zhǎng)~1uradθX,θY,θZ 重復(fù)定位<±2urad小速度um/s速度200mm/s有效負(fù)載5 2kg 至10kg（采用氣缸平衡配重）馬達(dá)/驅(qū)動(dòng)類型直線電機(jī)及轉(zhuǎn)矩馬達(dá)直驅(qū)反饋 標(biāo)準(zhǔn)光柵反饋光柵零位及限位支持 支持回程間隙 無(wú)遲滯 無(wú)正向/反向運(yùn)動(dòng)支持速度控制 支持運(yùn)動(dòng)軌跡控制 支持運(yùn)動(dòng)控制器 高/超高G 代碼可選軟件界面/接口C++,VB,LabVIEW*產(chǎn)品的性能依賴于應(yīng)用，ALIO 提供基于基本性能特征及有效負(fù)載下的咨詢1、2、3、4 更大的行程要求請(qǐng)直接咨詢廠商5 更大的負(fù)載要求請(qǐng)直接咨詢廠商使用環(huán)境：實(shí)驗(yàn)室、無(wú)塵室、真空環(huán)境使用（具體細(xì)節(jié)請(qǐng)咨詢廠商）環(huán)境溫度: 0 – 50°C保存溫度: -40°C - +70°C濕度: 0 – 80% 無(wú)結(jié)露