ALIO 所有的Z 軸精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)都提供納米級(jí)別的運(yùn)動(dòng)定位，其式的結(jié)構(gòu)更是保證了組件在運(yùn)動(dòng)過程中的定位和重復(fù)定位。所有Z 軸運(yùn)動(dòng)都可以與其它位移平臺(tái)組合成多軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。其中更有各種可以適合在各種高真空及強(qiáng)磁環(huán)境下工作的型號(hào)可供客戶進(jìn)行選型。AI-VC-2400-Z-CB 規(guī)格參數(shù)（如需其他型號(hào)資料請(qǐng)來電或郵件索取）行程 1 24mm小步長(zhǎng)10nm雙向重復(fù)定位<±40nm定位2 ±500nm速度100mm/s推力36N直線度及平面度3 <±1umPITCH <±5arcsec4YAW <±5arcsecROLL <±5arcsecMTBF 40,000 小時(shí)重量 3.8kg滑塊質(zhì)量1.5kg1、24mm 為此系列產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)行程，更多不同行程要求請(qǐng)直接咨詢廠商2、在遵循指導(dǎo)的使用環(huán)境才能達(dá)到標(biāo)稱的定位3、此根據(jù)客戶要求及定制給出4、1 ° = 1/3600 arcsec
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