- 產品品牌:
- ACEGEM
- 產品型號:
- ACEGEM
www.ace-gem.com卓耐科技自動光譜橢偏儀
與常規光譜儀器不同,橢偏具有同時擁有兩把尺的功能,一把尺用來量材料的光學性質,一把尺用來量材料的結構信息。當前各種新材料,特別是薄膜材料在各種領域具有越來越廣泛的應用。材料的性質跟結構非常依賴于其制備的設備及方法以及條件,因此采用橢偏方法表征在理解材料機理和發展相關器件及工業生產中的在線檢測起很重要的作用。
產品特點
1移相器的應用消除了全波段范圍內的測量盲點 .
2寬范圍、高入射角度控制為用戶提供了全方位的探索和研究需求.
3只需輕松點擊鼠標即可到需要的入射角.
4強大的數據分析功能.
5允許用戶自定義色散模型.
6全波長多角度同時數據擬合,EMA模型用于多成分化合物和表面粗糙度分析.
7具有實驗數據和模擬數據三維繪圖功能.
技術參數:
型號 UV330V UV330UV UV330UVN
光源 氙燈 氙燈 氙燈
波長范圍 350-850 nm 250-1100 nm 250-1700 nm
波長 1 nm 1 nm 1 nm
光斑直徑 1-3 mm 1-3 mm 1-3 mm
入射角范圍 20°to 90°,自動控制 20°to 90°,自動控制 20°to 90°,自動控制
入射角控制 0.01° 0.01° 0.01°
橢偏參數準確性 tg(Psi)≤0.01 ,cos( Delta) ≤0.0001 tg(Psi)≤0.01 ,cos( Delta) ≤0.0001 tg(Psi)≤0.01 ,cos( Delta) ≤0.0001
樣品臺尺寸 Ø160 mm Ø160 mm Ø160 mm
信號噪音比(S/N) 優于100(響應時間2S) 優于100(響應時間2S) 優于100(響應時間2S)







