FCS系列氣體流量控制器是基于MCS51系列單片機配合外圍器件，通過對三路或四路氣體質量流量計的控制，實現鍍鍍機充氣系統自動運行。本機可由用戶編程設定，對反應氣體隨鍍膜時間變化進行增減量控制。同時本機支持PS485或RS232通訊控制，支持開關量外部控制，也可連接機實現遠程控制。
名稱：FCS330A
控制路數：3路
電源：AC220V-240V，50Hz
功率：80W
適配流量計：D07-7B（七星華創）；FC7700（美國AE）‘；匯博隆
流量范圍：5-999SCCM
安裝尺寸：面板480*120；機箱：440*120*330
自增功能：有
自減功能：無
外控接口：有
名稱：FCS330A
控制路數：3路
電源：AC220V-240V，50Hz
功率：80W
適配流量計：D07-7B（七星華創）；FC7700（美國AE）‘；匯博隆
流量范圍：5-999SCCM
安裝尺寸：面板480*120；機箱：440*120*330
自增功能：有
自減功能：無
外控接口：有
