一、真空機組
1、2X70旋片泵(南光)
2、RTO300S羅茨泵(萃曼)
3、TYFB3600分子泵(泰岳恒)
4、閥門:GDZ3X400A高閥(全不銹鋼結構),維持閥、前級閥、預抽閥為GDQ100型(全不銹鋼結構),DDC80電磁充氣閥(上海二閥),旁通閥為羅茨泵內安裝閥;
5、管道為SUS304不銹鋼結構,軟連接為波紋管
二、罐體
1、太鋼SUS304不銹鋼帶水冷套結構,內尺寸1600*1200mm,內壁板厚10mm,外壁板厚5mm;四組式靶筒;上蓋布置八對磁控靶孔位,兩對一組,共四組,內部四對靶可調間距;罐體兩側布置兩個開門,門上各安裝四支弧源。
2、工件支桿2套,10mm
3、內襯板2套
4、布氣管路
5、放氣閥加裝空氣濾清器
三、標準件:密封圈,氣路部件(二位五通電磁閥為德國BURKERT產品),不銹鋼水閥,不銹鋼水路接頭,不銹鋼螺釘,壓力表,熱電偶,電機,減速機及木箱包裝等。
四、加熱器:編組U型管狀36KW,中心水冷法蘭安裝
五、工件轉盤:下轉盤,24/18工位,自轉直徑120*180mm,帶屏蔽罩。
六、磁控靶:16支圓柱磁控靶,70*1020mm,定向濺射,直接冷卻,鈦靶材(可與平面靶互換);工件架內外側各四對,爐體上蓋板安裝。
七、弧源(含電源)鈦靶材95,氣動引弧;直流逆變弧電源DC160A(深圳瑞菱)
八、質量流量計:德國BURKERT8711型,1000SCCM二臺,500SCCM二臺
九、全自動電氣控制系統:三菱FX2N系列PLC及WEINVIEW觸摸屏、FCS410型氣體流量器、HY99401B復合計、FLX12型光柵閥角度控制器、接觸器、空開、斷路器、繼電器、開關按扭、島電溫控表、數字電壓表、變頻器、電位器、機柜、面板、布線(主要元件選用國外品牌,威德米勒,三菱,施耐德等)
十、偏壓電源:脈沖逆變PLS30KW(珠海盛普)
十一、中頻電源:中頻逆變MF40KW(珠海盛普/深圳新達)
十二、隨機備件:密封圈,軸承,油封,工具等。







