同時還提供半導體設備用RF GENERATOR(射頻電源),AUTO MHING NETWORK(匹配單元),舉升機,位置伺服控制單元,反應器腔體高壓控制模塊,MH單元電路板,各類INTERFACE接口模塊等維修業務,憑借的美國BRID牌成套測試實驗設備,對大多數維修產品都可以進行的模擬測試,大大了單元電路的可用性。目前提供維修服務的主要為ADVANCED ENERGY、APPLIED MATERIALS、MKS(ENI)、LAM REASERCH、Novellus等廠商制造的6、8寸制程設備。
RF GENERATOR射頻電源維修,如常用6-8寸機臺中的MKS(ENI)、ADVANCED ENERGY、COMDEL、RFPP、TRAZAR、SEREN、PEARL等,頻率覆蓋自低頻90KHZ到高頻的400MHZ,已至于微波頻段,功率等級自5寸機臺中的300W到TFT制程中的大功率RF電源,至30KW.Auto mhing network 射頻自動阻匹配單元維修,射頻阻自動匹配單元維修,如AM公司的P5000型、AE MN等型號,維修內容包括電容部件的測試維修、驅動及接觸部件的更換、軸承部件更換以及控制電路PCB的維修等等。
對于老一代的以控制計算機并基于DOS軟件平臺的半導體制程工藝設備,提供相關的計算機軟硬件升級服務,包括更換而價格昂貴的CPU主板,操作鍵盤,EL電至發光顯示器等部件;軟件系統升級到更加方便的WINDOWS系統,并開發更多的程序功能,例如,放棄的工藝文件存儲EPROM模塊或軟盤驅動器,采用新一代電子固態硬盤作為存儲部件;開發數據接口,擴展工藝數量。例如BRANSON 去膠機的控制系統。







