ZP系列射頻電源自動匹配裝置：適用于采用高頻單激發的等離子體化學氣相淀積設備、等離子體噴涂設備、等離子體刻蝕設備、反應離子刻蝕機、等離子體去膠機、等離子體清洗機等感性及容性輸出負載的等離子體設備。
本產品的使用價值：
1、穩定生產工藝環境、產品質量。如對于太陽能電池生產等離子刻蝕工藝，可以過刻蝕及欠刻蝕：刻蝕的均勻性，提
高電池轉換效率0.1％；過刻蝕硅片面積因而單位面積的功率1％；減少返工，降低硅片的破損損耗，硅片使
用率1％；
2、減少射頻反射對周圍設備儀表的影響，儀表的準確度；
3、減少射頻電源反射對環境造成的不利影響，利于、實現對企業的要求；
4、減少射頻反射對人身的傷害！
主要技術參數：
網絡類型：L型網絡
射頻功率：1KW
網絡輸入阻：標準50Ω
負載阻：調諧范圍：（2.7～45）-j（0～70）Ω；
工作頻率：13.56MHz
手動／自動：可切換
射頻電源輸入接口：SL16-50KF
射頻電源輸出接口：L27-50KF
交流輸入電源：220VAC&plun;15％、50-60Hz、0.5A
本產品的使用價值：
1、穩定生產工藝環境、產品質量。如對于太陽能電池生產等離子刻蝕工藝，可以過刻蝕及欠刻蝕：刻蝕的均勻性，提
高電池轉換效率0.1％；過刻蝕硅片面積因而單位面積的功率1％；減少返工，降低硅片的破損損耗，硅片使
用率1％；
2、減少射頻反射對周圍設備儀表的影響，儀表的準確度；
3、減少射頻電源反射對環境造成的不利影響，利于、實現對企業的要求；
4、減少射頻反射對人身的傷害！
主要技術參數：
網絡類型：L型網絡
射頻功率：1KW
網絡輸入阻：標準50Ω
負載阻：調諧范圍：（2.7～45）-j（0～70）Ω；
工作頻率：13.56MHz
手動／自動：可切換
射頻電源輸入接口：SL16-50KF
射頻電源輸出接口：L27-50KF
交流輸入電源：220VAC&plun;15％、50-60Hz、0.5A
