應離子刻蝕機、等離子體去膠機、等離子體清洗機等感性及容性輸出負載的等離子體設備。
技術特點:
本電源采用它激振蕩,晶體穩頻,頻率13.56KHz,采用金屬陶瓷四管功率輸出,輸出功率連續可調,具有相應的自匹配器,自動匹配網絡使輸出功率加到反應室,匹配范圍大,具有反射功率(Pr)保護電路,具備過載短路的能力,并能方便的讀出入射功率、反射功率。
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