產品描述
：＋/-1.5%滿量程（一般氣體）
重復性：＋/-0.25%滿量程
OEM 的價格，具備數字質量流量控制器的優良
性能
可控制氣流為50 SLPM（NLPM）
的 316L不銹鋼鉑金屬傳感器技術和的線性
層流器技術儀表的優良性度。
提供鋁和 316不銹鋼兩種表體，帶Viton彈性線圈
本地顯示和數字設定點控制，可選模擬設定點和模
擬輸出信號
RS-232接口輕松與PLC 和工作站連接（提供用戶軟件和通訊線纜）
RS-485（可尋址）
提供兩個I/O dB9通訊口以便靈活連接通信
可現場調節點和量程
直接控制氣體的伺服電磁閥使氣體泄漏小
300 ms的控制閥時間常數
輕便的體積代替原來大的 MFC
性能參數
：＋/-1.5%滿量程及線性度，溫度在32ºF＆＃12316；122ºF（0ºC＆＃12316；50ºC）。
重復性：
&plun;0.2％的滿度。
溫度系數：
&plun;0.025％的滿度每ºF（0.05％的滿度每ºC），或者更好。
壓力系數：
&plun;0.01％的滿度每psi（0.15％的滿度每bar）或更好。
響應時間：
300毫秒的時間；2秒鐘終設定值的&plun;98％，更快或更慢響應可定做。
材料：
316不銹鋼；430F不銹鋼；“O”形橡膠密封圈（Viton“O”-rings），其它材料請咨詢廠家。
氣體：
清潔氣體，包括腐蝕性氣體。在定貨時請指明。
：＋/-1.5%滿量程（一般氣體）
重復性：＋/-0.25%滿量程
OEM 的價格，具備數字質量流量控制器的優良
性能
可控制氣流為50 SLPM（NLPM）
的 316L不銹鋼鉑金屬傳感器技術和的線性
層流器技術儀表的優良性度。
提供鋁和 316不銹鋼兩種表體，帶Viton彈性線圈
本地顯示和數字設定點控制，可選模擬設定點和模
擬輸出信號
RS-232接口輕松與PLC 和工作站連接（提供用戶軟件和通訊線纜）
RS-485（可尋址）
提供兩個I/O dB9通訊口以便靈活連接通信
可現場調節點和量程
直接控制氣體的伺服電磁閥使氣體泄漏小
300 ms的控制閥時間常數
輕便的體積代替原來大的 MFC
性能參數
：＋/-1.5%滿量程及線性度，溫度在32ºF＆＃12316；122ºF（0ºC＆＃12316；50ºC）。
重復性：
&plun;0.2％的滿度。
溫度系數：
&plun;0.025％的滿度每ºF（0.05％的滿度每ºC），或者更好。
壓力系數：
&plun;0.01％的滿度每psi（0.15％的滿度每bar）或更好。
響應時間：
300毫秒的時間；2秒鐘終設定值的&plun;98％，更快或更慢響應可定做。
材料：
316不銹鋼；430F不銹鋼；“O”形橡膠密封圈（Viton“O”-rings），其它材料請咨詢廠家。
氣體：
清潔氣體，包括腐蝕性氣體。在定貨時請指明。
