性能規格
　　：
　　&plun;1％滿度，在15ºC到25ºC，及10到60psia（0.7到4bara）范圍內；&plun;2％滿度，在0ºC到50ºC，及5到150psia（0.3到10bara）范圍內；在溫度和壓力下，為&plun;1％滿度，（專門標定）。
　　對于840系列產品，上述準確度分別為1.5％、&plun;3％和&plun;1.5％。
　　如儀表垂直安裝，見下表：
　　工作壓力
　　入口壓力偏差 50psig 100psig 150psig
　　&plun;1psig&plun;1%滿度&plun;1％滿度&plun;1％滿度
　　&plun;5psig&plun;2.5％滿度&plun;3％滿度&plun;3.5％滿度
　　&plun;10psig&plun;4％滿度&plun;5％滿度&plun;6％滿度
　　
　　重復性：
　　&plun;0.15％滿度。
　　&plun;0.5％滿度840（NPT）。
　　溫度系數：
　　0.027％滿度每ºF（0.05%滿度每ºC），或更好。
　　壓力系數：
　　0.01％滿度每psi（0.15%滿度每bar），或更好。
　　響應時間（1）：
　　830（）……300毫秒時間常數；在滿度的20到100％范圍內為2秒到設定點的&plun;2％。
　　840（低、中流量）……300毫秒時間常數；在滿度的20到100％范圍內為2秒到設定點的&plun;2％。
　　840（高流量）……600毫秒時間常數；在滿度的20到100％范圍內為4秒到設定點的&plun;2％。
　　840（NPT）……800毫秒時間常數；在滿度的20到100％范圍內為4秒到設定點的&plun;5％。
　　
　　注：（1）840系列低、中、高流量流體，可選1.5秒時間常數，如選其他時間常數，需訂購。
　　
　　操作規格
　　氣體：
　　清潔氣體；訂貨時具體指出。
　　質量流量：
　　0~10sccm到0~5600slpm；規定的流量是760毫米汞柱、21攝氏度（70華氏度）條件下的氮氣相應流量；也可提供以其它單位（即：scfh或nm3/hr）表示的流量范圍。
　　氣體壓力：
　　1000psig（68.9barg），低流量流體；
　　500psig（34barg），30psig（arg）。
　　氣體＆環境溫度：
　　32ºF到122ºF（0ºC到50℃）；要求較高溫度，訂貨時需指出。
　　滲漏功能：
　　為5×10-9ATM CC/sec（氦氣）。
　　
　　物理規格
　　材料：
　　830（）……316不銹鋼，標準“O”形橡膠密封圈（Viton“O”-rings）；氯丁橡膠和4079Kal-Rez；需用其他介質，訂貨時指出。
　　840（低、中、高）……316不銹鋼，430F不銹鋼，標準“O”形橡膠密封圈（Viton“O”-rings）和閥門插頭；如訂貨時指出，也可提供氯丁橡膠，4079Kal-Rez和其他彈性體；提供PFA Teflon閥門插頭。
　　840（NPT）……316不銹鋼，Teflon閥座，標準“O”形橡膠密封圈（Viton“O”-rings）；氯丁橡膠和4079Kal-Rez；需其他彈性體，訂貨時應指出控制閥。