| 編號 | 項目 | S48 28/HMT質量流量計，質量流量控制器 | |
| 1 | 流量規格 | (100,150,200)L/min | |
| 2 | 調節閥類型 | 電磁調節閥 | |
| 3 | 調節閥靜止狀態 | 常閉 | |
| 4 | 安裝角度 | 任意 | |
| 5 | 流量控制范圍 | 5%～100% | |
| 6 | 流量測量范圍 | 0～100% | |
| 7 | 響應時間 | 2s（T98，設定值的±2% F.S.） | |
| 8 | 工作環境溫度 | 5℃～50℃ | |
| 9 | 溫度 | 15℃～35℃ | |
| 10 | ±1.0%F.S. | ||
| 11 | 線性 | ±0.5%F.S. | |
| 12 | 重復性 | ±0.2%F.S. | |
| 13 | 工作壓差 | （100/150/200)L/min:(100/150/200)～300kPa | |
| 14 | 耐壓 | 3MPa | |
| 15 | 泄漏率 | 1×10-8 Pa?m3/s （He） | |
| 16 | 接觸氣體材料 | 316L,PTFE,Viton氟橡膠 | |
| 17 | 管路接頭 | Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″ VCR:1/4″3/8″ | |
| 18 | 供電電源 | ±15VDC(±5%) +15V，＜100mA；-15V，＜200mA | +24VDC(寬電壓+11～+25V), ＜350mA(+24VDC供電時) |
| 19 | 設定信號 | (0～5)VDC 輸入阻＞1MΩ | 4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V） |
| 20 | 流量輸出信號 | (0～5)VDC 負載能力≤3mA | |
| 21 | 電氣接頭 | D-SUB15,D-SUB9 | |
| 22 | 重量(kg) | 2.8 | |
S48 28/HMT 安裝尺寸圖：
