1. 特點(diǎn)及主要應(yīng)用領(lǐng)域
氣體質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）M gas flow controller（meter）縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制的設(shè)備。
S49 32/MT 質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))特點(diǎn)：
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。
☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。
☆具有高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、工作穩(wěn)定。
☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合。
☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對氣體的瞬時(shí)流量和累積流量進(jìn)行計(jì)量。
S49 32/MT 質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))主要應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制；
分析儀器設(shè)備的氣體計(jì)量與控制；
各種形式的真空鍍膜設(shè)備；
環(huán)境檢測與分析設(shè)備；
化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測和控制；
特種材料表面處理裝置與燃燒控制；
混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測系統(tǒng)等。
2. S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))型號
S49 32/MT 系列質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))，S49為質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))產(chǎn)品，32/MT為本公司此產(chǎn)品設(shè)計(jì)序列號。
質(zhì)量流量計(jì)用于對氣體的質(zhì)量流量測量計(jì)量；
質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))不但具有質(zhì)量流量計(jì)的測量計(jì)量功能，還具有自動控制氣體的質(zhì)量流量功能。
型式批準(zhǔn)證書：2011F215-11
執(zhí)行Q/CYHMT001-2011企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
許可證編號：京制號
3.主要技術(shù)指標(biāo)
質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))流量出廠通常用氮?dú)?N2)標(biāo)定。
質(zhì)量流量單位為：mL/min（毫升/分鐘）；(SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))
L/min （升/分鐘）。 (SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)為：溫度----273.15K（0℃）；
氣壓----101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale):表示滿量程值
表1 S49 32/MT質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))技術(shù)指標(biāo)
編號 | 項(xiàng)目 | S49 32/MT |
1 | 流量規(guī)格 | （5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10）L/min |
2 | 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
3 | 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) | 常閉 |
4 | 準(zhǔn)確度 | ±1.5%F.S |
5 | 線性 | ±1.5%F.S |
6 | 重復(fù) | ±0.2%F.S |
7 | 響應(yīng)時(shí)間 | ≤8秒（T95） |
8 | 工作壓差范圍 | （50～300）kPa; （100～300）kPa(10L/min) |
9 | 耐壓 | 3MPa; 10MPa |
10 | 工作環(huán)境溫度 | （5～45）℃ |
11 | 材料 | 不銹鋼316L |
12 | 標(biāo)準(zhǔn)密封材料 | Viton®， EPDM， 或其他由用戶指定 |
13 | 漏率 | 1×10-8Pa.m3/s |
14 | 接頭 | Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用戶指定 |
15 | 輸入輸出信號 | （0～＋5.00）V (輸入阻≥100KΩ,負(fù)載輸出電流能力≤3mA) |
16 | 供電電源 | ±15V（±5%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） |
17 | 外形尺寸mm | 130（寬）×102（高）×28（厚） |
18 | 重量kg | 0．8 |
