這款量EUV光源(遠紫外光源,紫外光源,深紫外光源）EUV photons source 原產于歐洲，緊湊，易于使用。它有發射頭和電源組成，方便移動，可計算機控制工作，發出13.5nm的遠紫外光線。
這款EUV光源基于毛細管放電原理，電能轉移至流經毛細管的熱氣,產生熱等離子體。 該EUV光源的工作參數可調，適合寬光譜范圍使用。
產品應用：
反射測量（掩膜，光學計量），光學樹脂測量，熒光光譜，光電發射，輻射，光刻，顯微成像等
這款EUV光源基于毛細管放電原理，電能轉移至流經毛細管的熱氣,產生熱等離子體。 該EUV光源的工作參數可調，適合寬光譜范圍使用。
產品應用：
反射測量（掩膜，光學計量），光學樹脂測量，熒光光譜，光電發射，輻射，光刻，顯微成像等
