壓電物鏡 壓電物鏡 壓電陶瓷物鏡 壓電物鏡掃描器 中國制造 研生 技術
納米級壓電物鏡 壓電物鏡 壓電物鏡 壓電陶瓷物鏡 壓電物鏡掃描器 ║P21系列
P21系列是采用壓電陶瓷驅動的納米級壓電陶瓷物鏡,壓電物鏡內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,壓電物鏡采用有限元分析優(yōu)化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統(tǒng)具有的導向,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,聚焦行程可達560微米,壓電物鏡內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋,了壓電物鏡具有的運動控制,定位、分辨率和穩(wěn)定性可以納米量級,定位穩(wěn)定時間為毫秒量級。壓電物鏡掃描器為無磁材質,使用過程中不產(chǎn)生磁場同時也不受磁場的影響。分立的螺紋轉接器,可適配多種型號的物鏡。
產(chǎn)品特點:
◆ 結構緊湊,易于集成,靈活的螺紋轉接器;
◆ 采用無摩擦高柔性鉸鏈導向系統(tǒng),快速響應;
◆ 內(nèi)置的壓電陶瓷,高性;
◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)位置反饋,開/閉環(huán)可供選擇。
產(chǎn)品應用:
三維成像技術 篩選 干涉 計量 磁盤驅動器測試 自動對焦系統(tǒng) 共聚焦顯微鏡 半導體測試 生物技術
遼寧研生科技有限公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、壓電納米定位臺/掃描臺、壓電平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉臺、壓電光束偏轉鏡、壓電顯微掃描平臺、壓電物鏡聚焦/掃描器、壓電紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高位移傳感器、壓電陶瓷驅動/控制器、高微位移測量系統(tǒng)等幾十個系列產(chǎn)品。
研生科技的納米級精密定位產(chǎn)品類型豐富,運動自由度從一維至六維[X,Y,Z,θX, θY,θZ],運動行程從幾微米至幾千微米,承載能力從幾百克至幾百千克,推/拉力從幾牛頓至幾千牛頓,具有多種結構類型如疊堆式結構、嵌套式結構以及性能更優(yōu)異的并聯(lián)式結構等,定位、分辨率和穩(wěn)定性可以納米量級,定位穩(wěn)定時間為毫秒量級,主要技術指標已國際水平,可地替代產(chǎn)品。
研生科技的產(chǎn)品和技術主要應用于前沿領域科學研究、半導體制造與檢測、生物顯微成像、精密光學系統(tǒng)、光電子對準與封裝、光學跟蹤與掃描、精密加工、自動化等領域。廣泛服務于各高校、科研院所以及各類制造光學顯微檢測設備、激光加工設備、半導體IC設備、測量/檢測儀器、光電設備、光學儀器、設備、特種精密加工等的裝備制造商。








