壓電顯微鏡掃描臺 壓電納米定位 壓電掃描臺 中國制造商 研生 技術
Z向納米級 壓電顯微掃描臺 壓電顯微鏡掃描臺 壓電納米定位臺 壓電掃描臺 ║P28系列
行程：Z500μm
P28系列是采用壓電陶瓷驅動的Z向納米級壓電顯微掃描臺，壓電顯微鏡掃描臺內部使用無回差柔性鉸鏈并聯導向結構，壓電掃描臺采用有限元分析優化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有的導向，且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點，壓電納米定位臺內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋，了壓電掃描臺具有的運動控制，定位、分辨率和穩定性可以納米量級，定位穩定時間為毫秒量級。中空式設計，且通孔較大，專為安放載玻片或樣品皿設計，可更好的集成于顯微及掃描系統中。通過優化設計，更好的匹配主流制造商設計的產品。
產品特點：
◆ 的外形尺寸，的中空尺寸；
◆ 采用無摩擦、無回差的柔性鉸鏈導向系統，具有的導向；
◆ 內置的壓電陶瓷，高性；
◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋，開/閉環可供選擇。
產品應用：
顯微鏡/顯微掃描、跟蹤 三維成像 高分辨率顯微鏡 共聚焦顯微鏡 生物技術 納米定位 干涉 計量
遼寧研生科技有限公司自主研發的產品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、壓電納米定位臺/掃描臺、壓電平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉臺、壓電光束偏轉鏡、壓電顯微掃描平臺、壓電物鏡聚焦/掃描器、壓電紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯微位移定位系統、高位移傳感器、壓電陶瓷驅動/控制器、高微位移測量系統等幾十個系列產品。
研生科技的納米級精密定位產品類型豐富，運動自由度從一維至六維[X,Y,Z,θX, θY,θZ]，運動行程從幾微米至幾千微米，承載能力從幾百克至幾百千克，推/拉力從幾牛頓至幾千牛頓，具有多種結構類型如疊堆式結構、嵌套式結構以及性能更優異的并聯式結構等，定位、分辨率和穩定性可以納米量級，定位穩定時間為毫秒量級，主要技術指標已國際水平，可地替代產品。
研生科技的產品和技術主要應用于前沿領域科學研究、半導體制造與檢測、生物顯微成像、精密光學系統、光電子對準與封裝、光學跟蹤與掃描、精密加工、自動化等領域。廣泛服務于各高校、科研院所以及各類制造光學顯微檢測設備、激光加工設備、半導體IC設備、測量/檢測儀器、光電設備、光學儀器、設備、特種精密加工等的裝備制造商。
