| 產(chǎn)品名稱 | PVD1006 | 數(shù)量 |
| 真空系統(tǒng) | *VDN901直升泵二臺(tái)（愛發(fā)科） *RTO·150S羅茨泵一臺(tái)（上海萃曼） *TYFB-3600分子泵一臺(tái)（泰岳恒） *閥門：高閥型號(hào)為：GDZ400B型，整閥由太鋼304不銹鋼焊接而成，前級(jí)閥、預(yù)抽閥、維持閥型號(hào)為：GDQ100型，旁通閥為羅茨泵內(nèi)安裝閥； *管道為全不銹鋼結(jié)構(gòu)。 | 1套 |
| 真空室 | *由太鋼304不銹鋼焊接而成，帶水冷套，內(nèi)尺寸?1000X600mm，2對(duì)平面靶安裝于罐體內(nèi)，抽氣口右側(cè)分一列布置二個(gè)弧源位，門上一個(gè)觀察窗。 *工件支桿2套（20支），?8mm； *內(nèi)襯板2套（厚度0.8mm）； *布?xì)夤苈罚? *放氣閥加裝空氣濾清器 *轉(zhuǎn)架為下轉(zhuǎn)架，帶屏蔽罩。 | 1套 |
| 弧電源 | 直流逆變DC160A（深圳瑞佳） | 2臺(tái) |
| 偏壓電源 | 脈沖逆變30KW（珠海盛普） | 1臺(tái) |
| 中頻電源 | 中頻逆變20KW（珠海盛普） | 2臺(tái) |
沈陽威利德真空技術(shù)有限公司
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