| 產(chǎn)品名稱 | PVD1010A | 數(shù)量 |
| 真空機組 | *2X-30旋片泵一臺(成都南光) *2X-70旋片泵一臺(成都南光) *RTO·300S羅茨泵一臺(上海萃曼) *K-500T擴散泵一臺(沈陽真龍) *閥門:GDZ500C高閥為不銹鋼結(jié)構(gòu),前級閥、預抽閥為不銹鋼結(jié)構(gòu)GDQ100型,維持閥DDC65、壓差閥DDC80為上海二閥電磁閥,旁通閥為羅茨泵內(nèi)安裝閥; *管道為全不銹鋼結(jié)構(gòu)。 *DB500冷阱為碳鋼(沈陽真龍)。 | 1套 |
| 罐體 | *304不銹鋼帶夾層水冷套結(jié)構(gòu),內(nèi)尺寸?1000X1000mm,兩個平面靶,抽氣口兩側(cè)分二列布置六個弧源位,門上兩個觀察窗。 *燈絲支桿一套; *工件支桿3套(36支),?8mm; *內(nèi)襯板2套(厚度1mm); *布氣管路; *放氣閥加裝空氣濾清器 *轉(zhuǎn)架為下轉(zhuǎn)架,帶屏蔽罩。 | 1套 |
| 偏壓電源 | 脈沖逆變30KW(珠海盛普) | 1臺 |
| 弧電源 | 直流逆變DC160A(深圳瑞佳) | 6臺 |







