| 產品名稱 | PVD1010B | 數量 |
| 真空機組 | *2X-30旋片泵一臺（成都南光） *2X-70旋片泵一臺（成都南光） *RTO·300S羅茨泵一臺（上海萃曼） *KT-500擴散泵一臺（沈陽真龍） *閥門：GDZ500C高閥為不銹鋼結構，前級閥、預抽閥為不銹鋼結構GDQ100型，維持閥DDC65、壓差閥DDC80為上海二閥電磁閥，旁通閥為羅茨泵內安裝閥； *管道為全不銹鋼結構。 *DB500冷阱為碳鋼（沈陽真龍）。 | 1套 |
| 罐體 | *304不銹鋼帶夾層水冷套結構，內尺寸?1000X1000mm，一支中柱靶，抽氣口兩側分二列布置六個弧弧源位，門上兩個觀察窗。 *燈絲支桿一套； *工件支桿3套（36支），?8mm； *內襯板2套（厚度1mm）； *布氣管路； *放氣閥加裝空氣濾清器 *轉架為下轉架，帶屏蔽罩。 | 1套 |
| 偏壓電源 | 脈沖逆變30KW（珠海盛普） | 1臺 |
| 弧電源 | 直流逆變DC160A（深圳瑞佳） | 6臺 |
沈陽威利德真空技術有限公司
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