此款全自動清洗機適用于晶圓、QFN、玻璃和陶瓷切割后的清洗設備，有高壓水和二流體兩種清洗方案。采用人性化的全彩色觸摸屏作為操作界面，令整機更為易用。該機型提供高壓水和二流體兩種清洗方案供分開或組合選擇。適用于藍膜、UV 膜、PET 襯底膜和雙層膜。適用晶圓尺寸：3～12 Inch
技術特點：
■除提供傳統高壓水的清洗方案外，還提供采用二流體的清洗方案，在清洗效果的同時也減少了對芯片的損害。可選擇機器采用高壓水或二流體的清洗方式，也可以選擇雙擺臂的組合方式。
■采用了應用于航天工程的磁流體密封技術的主軸，真空吸附的真空度，工作件不會因真空泄漏而脫離旋轉臺盤，從而損壞工作件，因此也了主軸的壽命，令主軸更，更。
■配備5.7英寸全彩色觸摸屏，人性化的觸摸屏界面，集成了的參數設計和功能操作；并提供信息和錯誤顯示，讓操作和信息一目了然。
技術特點：
■除提供傳統高壓水的清洗方案外，還提供采用二流體的清洗方案，在清洗效果的同時也減少了對芯片的損害。可選擇機器采用高壓水或二流體的清洗方式，也可以選擇雙擺臂的組合方式。
■采用了應用于航天工程的磁流體密封技術的主軸，真空吸附的真空度，工作件不會因真空泄漏而脫離旋轉臺盤，從而損壞工作件，因此也了主軸的壽命，令主軸更，更。
■配備5.7英寸全彩色觸摸屏，人性化的觸摸屏界面，集成了的參數設計和功能操作；并提供信息和錯誤顯示，讓操作和信息一目了然。
