特點:
1.馬達驅動高度可調的顯微鏡適合于不同高度的操作者
2.305×155mm的樣品臺可以承載有300mm的晶圓,框架或者基板
3.可以對破壞后的樣品進行拍照
4.Die Shear 可以到達200Kgf
5.測試模塊具有保護設計和內存校準
6.不同的數據分析功能,兼容Oracle SQL
7.占地小,標準PC
8.支持中文
技術指標:
系統集成電腦,系統集成了工業標準的并裝有Windows XP操作系統的電腦,配置硬盤,DVD/CD-ROM RW光驅,具備U,網絡,打印機等接口
馬達驅動X、Y和Z軸:305mm×155mm×70mm
X和Y軸分辨率:1um
Z軸分辨率:0.1um
全系統測量:0.15%
電源需求:AC 110V~220V/50~60Hz







