可選配一系列可選附件,如:金屬蒸鍍、碳絲蒸鍍、膜厚測量等。
標準配置的樣品臺,無傾角,高度不可調。如果需要傾斜樣平臺,需要另外選擇。
主要技術指標:
尺寸和重量:儀器機箱:585mm寬x 470mm長 x 410mm高(總高:650mm)
儀器總重量:33.4Kg
工作腔室:硼硅酸鹽玻璃,152mm(內)x 127mm高
觸摸屏全圖像用戶界面
樣品臺:標配件(無傾角,高度不可調),轉速8-20rpm
真空系統:
渦輪分子泵:帶有空氣冷卻的渦輪分子泵(標準配置里面)
旋轉機械泵:雙級旋轉機械泵(需要另購)
真空度:5x10-3-----5x10-1 mbar
濺射時間:長60分鐘
濺射靶材:57mmØx 0.3mm Chromium(標準配置:鉻靶材一個)







