臨界點干燥儀是指干燥介質在液態和氣態相互轉換時，介質的表面表面張力為（此點具有特定壓力和溫度，該點即稱為臨界點），而表面應力對生物樣品的破壞大大降低，利用此原理制成的干燥儀即為臨界點干燥儀。
　　我們經常要對生物樣本進行脫水，但在水的臨界點（＋374℃及3212 p.s.I）進行操作很不方便且容易損壞樣本。而CO2的臨界點在＋31℃及1072 p.s.I.，容易操作。然而CO2不易與水混合，因而通常采用作為中間介質。因此在CO2從液體轉變為氣體時，在臨界點表面張力為。
　　
　　EMS850臨界點干燥儀通過使用CO2，通過一系列的操作替代樣本中的水份。我們經常使用這種中間介質。如：（濕的樣品）水--30%-100%-CO2-C.P.D.-（干樣品）。將要臨界點干燥的生物樣本放置在EMS850壓力腔室中，腔室預先冷卻，這樣氣缸中容易充入液態CO2.隨后壓強臨界點，腔室加熱也剛好在臨界點溫度。此時CO2氣體通過針閥放出，避免樣本損壞。
　　EMS850采用半導體加熱、冷卻方式，溫度控制在5℃至35℃之間。這樣使臨界點的獲得得到了，也避免了壓力或溫度的出；或在加熱循環時，通過減壓閥來控制壓強。垂直腔體及頂部裝載，樣本在干燥過程中不被覆蓋，并且擁有測面觀察端口用于確定樣本添裝時的正確位置。