體積:590mmW*500mmD*700mmH
直徑為:6寸的真空卡盤(載物臺)
載物臺X-Y方向粗調(diào)移動行程:4英寸*4英寸,移動:10um
載物臺X-Y方向細調(diào)移動行程:2英寸*2英寸,移動:1um
卡盤可以快速升降,行程:4mm
回形平臺可以快速升降,升降行程:6mm,由圓形手柄控制,:1um
回形平臺可以上下微調(diào)行程:25mm,由手柄控制,:5um
戴物臺旋轉角度:360度,帶鎖裝置,:0.1度
為滿足6個探針座同時放置使用,采用回形平臺設計
上加入卡盤的快速拖出200mm
可以安裝探針卡
長工作距離金相顯微鏡
高解析度
目鏡:10X
連續(xù)變焦 1X/2X
2X 10X 20X 50X 100X
總倍率范圍:20X-2000X
150瓦高亮白色光源,可連續(xù)調(diào)節(jié)亮度(無調(diào)節(jié))
顯微鏡X-Y軸的行程是:2英寸*2英寸1微米
顯微鏡Z軸的行軸是:50.8mm
C Mount 接口
管狀夾具/1.5m長線纜/三軸(公)接頭
三軸管狀夾具與屏蔽箱及環(huán)境因素的配合可100FA的漏電
三軸(母)轉三軸(母)轉接頭,適用于KEITHLEY4200/AGILENT B1500
震桌
垂直頻率:1.2〜1.5Hz
水平頻率:1.5〜1.7Hz
尺寸大于90cm*90cm,承重≥400kg
4個氣囊
屏蔽箱
與管狀夾具及雙屏蔽線纜并結合相應的環(huán)境因素,漏電可100FA,配合線纜可高壓1000V.
型號 8寸
產(chǎn)量 100臺/年
尺寸各種尺寸
公司名稱深圳市展芯科技有限公司






