操作簡單,實用。
價格低廉,適于工廠大批采購,學生進行簡單測試使用。
類型規格
整體參數規格:重量:約25kg(帶顯微鏡)。
設計:人性化的機學設計,便于操作工程師長時間舒適操作。
平臺規格:2個T字型支撐板設計,適用于2-4個中端型探針座操作。
平整度:10μm,使探針座的吸附更為穩固牢靠。
Chuck(載物臺)規格:尺寸:直徑為4英寸的圓盤(約10MM)。
材質:SU316L不銹鋼升級空間:鍍金。
吸附孔:中心孔徑小可做到250微米,小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm,能夠吸住尺寸為4"X4"。
旋轉角度:可360度自由旋轉。升級空間:根據客戶需要可定制為360度旋轉,旋轉角度可微調,微調為0.1度,帶角度鎖定旋鈕。
X-Y移動行程:移動范圍為3"X3",移動為10μm,配合針座的移動可以wafer上的die夠準確點測到。升級空間:移動機械1μm.





