一、用途：該設備用于器件真空除氣、退火及釬焊。
二、技術指標：
1.系統空載限真空度≤2×10-4Pa，（冷態）；工作真空度≤1×10-a（1400℃）；
2.分子泵啟動正常工作30分鐘后，真空度進入10-2Pa；
3.連續工作溫度：1400℃（持續時間10小時以上）；溫度均勻性&plun;5℃，控溫：&plun;2℃；
4.爐膛空間≥＆Oslash；300×600m；均溫區≥＆Oslash；200×400mm；
5.主泵采用北科儀復合分子泵作為主抽氣系統，抽速：1200L/S，前級泵采用8升/秒機械泵；
6.加熱方式采用三區加熱、測溫控溫方式，PID智能溫控儀程序控溫；采用低電壓大電流加熱電源，電壓低于45V.
三、系統組成：
本設備主要由真空室系統、真空抽氣及測量系統、加熱及控溫系統、電器控制系統、充氣系統、輔助系統等幾部分組成。
二、技術指標：
1.系統空載限真空度≤2×10-4Pa，（冷態）；工作真空度≤1×10-a（1400℃）；
2.分子泵啟動正常工作30分鐘后，真空度進入10-2Pa；
3.連續工作溫度：1400℃（持續時間10小時以上）；溫度均勻性&plun;5℃，控溫：&plun;2℃；
4.爐膛空間≥＆Oslash；300×600m；均溫區≥＆Oslash；200×400mm；
5.主泵采用北科儀復合分子泵作為主抽氣系統，抽速：1200L/S，前級泵采用8升/秒機械泵；
6.加熱方式采用三區加熱、測溫控溫方式，PID智能溫控儀程序控溫；采用低電壓大電流加熱電源，電壓低于45V.
三、系統組成：
本設備主要由真空室系統、真空抽氣及測量系統、加熱及控溫系統、電器控制系統、充氣系統、輔助系統等幾部分組成。
