INFICON公司生產的HPG400型高壓強熱電離皮拉尼真空計將高壓強熱電離與皮拉尼規管綜合在一個小型、輕便與經濟的規管中，測量壓強從2×10-6至1000毫巴(1.5×10-6至750乇)。HPG400提供高度的重復性
和再現性壓強測量，用于的濺射過程的壓強控制。
HPG400皮拉尼真空計詳細資料
優點：
寬的測量范圍從5x10-10毫巴至大氣壓(3.8x10-10乇至大氣壓)
好的重復性,過程壓強范圍10-8 … 10-2毫巴均為5%
皮拉尼連鎖保護燈絲,過早燒毀
雙敷涂釔的氧化銥長壽命燈絲
可選圖形顯示和現場總線接口
自動高真空皮拉尼調整,減少操作人員的干預
容易更換具有在機校準的傳感元件,高度重復性
應用：
半導體工藝和輸送室中的壓強測量
工業鍍膜
一般真空測量和控制,從真空范圍
訂 購 資 料
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型號 |
HPG400 Without LCD display |
HPG400 With LCD display |
HPG400-SP With Profibus DP1） |
HPG400-SD With DeviceNet1） |
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DN 25ISO-KF |
353-520 |
353-521 |
353-525 |
353-527 |
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DN 40CF-R |
353-522 |
353-523 |
353-526 |
353-528 |
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更換傳感器25ISO-KF |
354-487 |
354-487 |
354-487 |
354-487 |
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更換傳感器40CF-R |
354-488 |
354-488 |
354-488 |
354-488 |
