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優勢 |
特點 |
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FC-7700系列產品專為那些要求頂性能,但不要求具有耐腐蝕性或漏率要求的應用而定制,不性價比好,而且控制高。 |
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響應速度快 | |
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FC-7700系列產品采用新技術設計,工作性能遠遠質量流量控制器MFC.其之處包括:采用了一種敏感、響應速度快的小直徑傳感器。另外,與采用低速熱敏閥的同類產品相比,FC-7700系列產品采用常開或常閉式電磁閥,具有較快的響應速度。響應速度之后,避免了出現過沖,設定點的時間不到2秒--在帶標準電磁閥的質量流量控制器產品中是快的。 |
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的性 | |
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由高質量的電子組件和采用耐用、少元器件的設計理念,這使它可以經受強射頻場的干擾,滿足其它運轉要求,并具有同類產品中的點漂移穩定性--使用過一年,點漂移不到滿量程的0.5%。在投入使用的25,000件以上產品中,有不到0.5%的產品在出貨一年內返修。 |
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易于集成 | |
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替換其它品牌,即可輕松獲得Area質量流量控制器所具有的性能和性方面的優勢,且不會遇到安裝方面的麻煩。特定型號的產品帶有標準電氣接頭并具有臨界尺寸,可輕松裝入現有的系統。 |
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出從的效果 | |
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FC-7700系列質量流量控制器帶給您的不是薄膜和刻蝕工藝的一致性,同時還有高度的可重復性。 |
型號參數:
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類別 |
FC-7700、7700C、7700CD、7700CU |
FC-7710、7710C、7710CD、7710CU |
FC-7720、7720C、7720CD |
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滿量程范圍 |
10sccm到5slm |
6到20slm |
35到150slm |
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20到50slm | |||
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響應時間 |
到達設定點±2%所需時間<2秒 |
到達設定點±2%所需時間<3秒 | |
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滿量程±1%范圍內 |
滿量程±2%范圍內 | ||
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線性度 |
滿量程±0.5%范圍內 |
滿量程±0.5%范圍內 |
滿量程±1%范圍內 |
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滿量程±1%范圍內 | |||
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重復 |
滿量程±0.2%范圍內 | ||
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漏率 |
值1×10-6 atm-cc/秒(氦) | ||
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控制范圍 |
滿量程的5到100% | ||
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壓差 |
7至40 psi |
10至40 psi(517至2069托) |
21至40 psi(1086至2069托) |
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(362至2069托) |
14至40 psi(724至2069托) | ||
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正常工作壓力 |
50 psi(2586托) | ||
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入口壓力 |
值150 psi(7740托) | ||
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溫度范圍 |
5至45℃ | ||
注:可根據不同客戶的需求,選擇全金屬密封的FC-7800CD系列,數字型的FC-D770系列,全金屬密封及數字型的FC-D980系列。







