INFICON PEG100真空潘寧規提供了的高真空測量。無高真空燈絲。由于等離子點火的鈦陰板和高電壓降低,潘寧規也可以應用在陰濺射鍍膜工藝上。
特點:
>測量范圍廣:5 X 10 -7~1 Pa
>全金屬冷陰陶瓷傳感器
>新型幾何電提供了好的點火性能
>降低等離子點火高電壓和鈦陰板污染的危險,即使在氬濺射過程中也一樣
>陽環和鈦陰可清洗,更換容易
>小磁場強度測量
>LED指示燈電源和等離子點火
>對數模擬輸出信號
>Fieldbus總線接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系統的網絡通信







