INFICON的冷陰和皮拉尼的復合真空規(guī) MPG400和MPG401, 測量范圍從 5x10-9毫巴至大氣壓(3.8 x10-9乇至大氣壓).將兩種測量方式組合在一個具有對數(shù)模擬輸出的小型單元內,大大地降低了安裝,設置和集成的復雜性.
優(yōu)點:
復合真空規(guī)—冷陰與皮拉尼
寬的壓強測量范圍從5X10-9毫巴至大氣壓
無可燒毀的燈絲
卓越的引燃功能
FPM或金屬密封的饋入件
高壓加上時LED指示燈亮
對數(shù)模擬輸出訊號
應用:
高真空壓強監(jiān)測
蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)的壓強測量
一般真空測量和控制,從中至高真空范圍








